Occasion LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #293767096 à vendre en France
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LAM 2300 Exelan est un équipement de gravure/asher avancé pour les laboratoires, offrant des solutions de gravure et ashing précises pour une variété d'échantillons. Ce système permet de multiples cycles de processus, et peut fonctionner avec une variété de substrats. LAM Exelan 2300 offre une chambre de gravure dynamique, qui fournit une gravure uniforme, et un processus de cendrage automatisé. L'unité dispose également d'une chambre entièrement fermée, purgée à l'azote, qui élimine la contamination atmosphérique externe. L'Exelan 2300 est également équipé d'une machine informatique embarquée, pour le contrôle opérationnel et l'analyse des données. Le logiciel dispose de deux types de mémoire, RAM et ROM, pour la conception et le stockage du programme. Il comprend une interface utilisateur graphique (interface graphique) pour un fonctionnement facile et offre une flexibilité en matière de programmation et de surveillance. L'écran tactile LCD permet un contrôle détaillé des paramètres du processus, y compris le débit de gaz spécifié, la température et la pression. LAM Exelan 2300 est également capable de réaliser une grande variété de processus de gravure et de cendrage. Il est équipé d'une gravure sèche, d'une gravure humide et d'une capacité de gravure CMP, ce qui permet d'éliminer les débits de matière de 1 à 10 µm/min. L'outil peut également effectuer une gravure humide et une gravure O2 jusqu'à 10000 tr/min. De plus, l'Exelan 2300 fonctionne dans des conditions contrôlées, avec des températures allant de la température ambiante jusqu'à 200 ° C LAM Exelan 2300 est un outil de procédé robuste et fiable pour les solutions de gravure et d'ashing. Il est équipé de haute température et de temps de cycle rapide, assurant des opérations de gravure et de cueillette précises. Son modèle informatique embarqué fournit une interface graphique conviviale pour un fonctionnement et une programmation faciles, et sa mémoire séparée pour la programmation et le stockage de données ajoute encore à la commodité de l'équipement. 2300 Exelan est un système avancé qui assure des opérations de précision, assurant les meilleurs résultats dans les solutions de gravure et d'ashing.
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