Occasion LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #293768859 à vendre en France

ID: 293768859
Style Vintage: 2007
Dielectric etcher Process: CuOx (3) Load ports EDWARDS iH600 Pump Gases: C4F6 He/O2 O2 CH2F2 C4F8 Ar CHF3 H2 N2 CF4 2007 vintage.
LAM 2300 est un équipement automatisé de chambre asher/etcher développé par LAM Industrial Automation Inc. pour des applications de qualité industrielle nécessitant précision et répétabilité au niveau des semi-conducteurs. Avec sa combinaison unique de haute fiabilité, de faible coût et de flexibilité, 2300 est un choix parfait pour la recherche, la fabrication, la préparation d'échantillons et une large gamme d'autres applications industrielles. LAM 2300 est conçu autour d'une chambre en acier inoxydable résistant à la corrosion et d'un système de pression sous vide, capable de maintenir une pression allant jusqu'à 30 psia pendant le fonctionnement. L'unité dispose d'une source de poudre et d'agrégats de haute qualité, d'une chambre à gaz chauffée séparée, jusqu'à trois zones de réaction distinctes, et d'une puissante machine de recyclage du réacteur. La chambre d'alimentation et de gaz chauffée peut être contrôlée avec précision par une interface opératoire intuitive, permettant des applications de gravure et de dépôt plus précises. La conception robuste des vaisseaux de 2300 permet une variété de chambres de procédés interchangeables et amovibles, permettant une large gamme d'applications personnalisées de gravure et de dépôt. La conception polyvalente des chambres réactionnelles peut accueillir le traitement en couches minces, le dépôt en grande surface et le traitement chimique de surface, tandis que l'outil réacteur-recyclage offre un fonctionnement en série flexible ou continu. La LAM 2300 est également équipée de dispositifs de surveillance environnementale qui peuvent être utilisés pour assurer la sécurité des procédés. Son contrôle intégré de la température et de la pression à double zone offre un contrôle précis et immédiat des processus, et son logiciel entièrement automatisé offre un degré de surveillance des processus et de déclaration qui est essentiel pour des performances cohérentes et fiables dans les systèmes de dépôt compatibles UHV d'aujourd'hui. 2300 fournit une solution optimale pour les applications industrielles de gravure et de dépôt. Sa conception compacte et efficace le rend idéal pour les situations où l'espace et la puissance sont des considérations critiques, tandis que sa capacité pour les besoins personnalisés permet un haut degré de flexibilité dans un large éventail d'applications de gravure et de dépôt. Le fonctionnement robuste de LAM 2300, une large gamme de capacités de traitement, un faible coût et une configuration rapide en font un choix idéal pour les applications de haute précision et de réutilisation.
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