Occasion LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #9061909 à vendre en France
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LAM 2300 est un équipement sous vide avec une chambre de serrure verticale combinée à un système de revêtement en résine. Le procédé de revêtement en résine est utilisé pour déposer une couche de matériau protectrice sur le substrat. 2300 est une unité polyvalente et complète capable de créer des structures de dispositifs sophistiquées. LAM 2300 utilise une technologie de revêtement à résistance limitée par diffusion pour déposer uniformément une couche protectrice de matériau tel que la cire, l'antireflet et/ou la photorésist positive sur un substrat. La machine permet également un contrôle précis de l'épaisseur de la couche et une uniformité de gravure. Le Vide Load Lock, associé à la précision de la gravure et de la résistance au dépôt, permet aux utilisateurs de contrôler avec précision les conditions du processus, ce qui permet un contrôle précis des résultats. 2300 est un outil avancé, piloté par ordinateur, qui peut être utilisé en mode manuel ou automatique. L'opérateur peut ajuster les paramètres du processus, tels que la pression, la température et le temps, en quelques étapes. Les contrôles informatisés permettent à l'opérateur de surveiller et d'ajuster facilement les paramètres du processus, contribuant ainsi à assurer la répétabilité du processus. LAM 2300 est équipé d'un PZT (Piezo-electro-transferscope) pour la gravure de films minces et épais. Le PZT transfère avec précision des impulsions électriques sur le substrat, permettant à l'actif de graver avec précision des films de résines minces et épaisses. Le modèle peut également être utilisé pour graver des plaquettes, des disques, des bandes et d'autres substrats similaires. 2300 est capable de traiter un large éventail de matériaux, y compris les métaux, les oxydes, les nitrures et les polymères. Il est également capable de réaliser des gravures de couverture et de motifs, ainsi que des photolithographies et des gravures de plasma. L'équipement peut être utilisé pour enduire, sélectionner et modeler les substrats avec une variété de produits chimiques de revêtement, y compris le verre spin-on et les revêtements antidiffusion EUV/UV. LAM 2300 résiste au système de revêtement est extrêmement efficace et fiable. Il est facile à utiliser et à entretenir, et est capable de produire une gravure de haute qualité et de résister aux résultats de dépôt. L'unité est idéale pour la fabrication de structures complexes telles que MEMS, transistors à couches minces et composants de microassemblage. Cette machine est un choix idéal pour la fabrication d'appareils à haut débit et de haute précision.
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