Occasion LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #9121960 à vendre en France

LAM 2300 est un équipement de gravure métallique à double chambre utilisé pour graver rapidement des vias et d'autres petites caractéristiques dans des substrats semi-conducteurs et MEMS. Il dispose d'une version polyvalente qui contient des composants utilisés dans les processus de gravure et de nettoyage. Le système est capable d'effectuer une grande variété de processus de gravure, y compris la gravure humide de précision, la gravure sèche, la gravure de polymère fluoré et la pulvérisation magnétron. Ces procédés sont utilisés à la fois dans la production d'un substrat unique et dans la production à grande échelle de substrats aux structures plus complexes. L'ensemble comprend deux sous-chambres commandées indépendamment, contenant chacune une chambre de gravure cylindrique orientée vers le bas. Il est capable de traiter jusqu'à 350 mm de plaquettes et dispose d'un suscepteur élévateur et tournant, permettant l'orientation précise et la gravure d'une variété de structures complexes. Pour chaque sous-chambre, une paire cathode/anode séparée est utilisée dans les procédés de gravure humide ou de pulvérisation. La machine contient un outil de distribution de gaz qui est capable d'une gamme extrêmement large de gaz de spécialité, selon le procédé utilisé. 2300 comprend également une puissante ligne de nettoyage de post-traitement, permettant un traitement supplémentaire après la gravure. Cette ligne est capable de réaliser des nettoyages à la fois agressifs et doux, y compris l'utilisation de solutions HF et SC-1. L'actif est également capable de faire des gravures lentes et rapides, permettant la gravure précise de très petites caractéristiques. LAM 2300 dispose également de commandes tactiles et de recettes préprogrammées, permettant un fonctionnement rapide et efficace. Dans l'ensemble, 2300 est un modèle de gravure métallique extrêmement efficace et puissant qui est utilisé pour de nombreuses applications industrielles et scientifiques. Ses caractéristiques uniques, comme ses deux sous-chambres et sa ligne de nettoyage post-traitement, permettent une gravure et un nettoyage rapides et précis de divers substrats et structures. En tant que tel, c'est un outil puissant qui est essentiel pour de nombreuses applications de fabrication modernes.