Occasion LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #9222733 à vendre en France
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ID: 9222733
Taille de la plaquette: 12"
Oxide etcher, 12"
AC Rack
Power control rack: AC Rack and P/C
(2) Exelan chambers
Gas module for (3) Exelan chambers
Parts
(3) Cable boxes
Vacuum transfer module:
Airlock: Right and left
TM / PM Facility line
Process module 1 and 2:
(2) Exelan chambers
VAT Pendulum value
Missing parts:
(2) BROOKS Load ports
ATM Robot
Wafer alignment
Wafer alignment module
VTM Robot
Turbo pump (ATH 1600M)
Turbo controller
RF System A/C power
Generator (TCP)
Generator (BIAS)
EFEM
MagnaTran 7
Loader
ESC
RF Cart.
LAM RESEARCH 2300 Exelan est un équipement Etch/Asher conçu et fabriqué par LAM RESEARCH Corporation. C'est un système entièrement automatisé capable de traiter des plaquettes jusqu'à 200 mm de diamètre. L'unité utilise un module de procédé monobloc et une machine à vapeur chimique chauffée à la chambre. 2300 Outil Exelan est à la fois efficace et fiable et convient pour le traitement d'une gamme de plaquettes avec différentes tailles et structures. Sa chambre dispose d'un régulateur de température réglable qui peut être réglé jusqu'à 15 ° C, permettant d'obtenir des résultats de traitement précis et reproductibles. Il a également des caractéristiques de conception intégrées qui améliorent l'uniformité, augmentent la précision et minimisent les dommages aux plaquettes. RECHERCHE LAM 2300 L'actif Exelan Etch/Asher a une pression de processus allant jusqu'à 760 mTorr et peut fonctionner à des températures allant de 70 ° C à 350 ° C Il est équipé d'un processus de transport pour le transfert des plaquettes et d'un shakers permettant de réduire l'homogénéité des puces en changeant rapidement les températures des gaz. Le modèle dispose également d'un filtre à faible teneur en poussière, qui est utilisé pour capturer les particules de poussière pendant le traitement des plaquettes. De plus, sa porte de serrure a un joint étanche au vide ainsi que des dispositifs de sécurité avancés, ce qui garantit qu'aucun contaminant ne pénètre dans l'équipement ou ne cause de dommages. 2300 Système Exelan est également équipé d'une unité de profilage avancée qui permet aux utilisateurs d'optimiser les performances du profil et d'augmenter la répétabilité. La machine dispose d'une interface logicielle puissante qui permet aux utilisateurs de contrôler les paramètres et les données, ainsi que fournit une interface graphique conviviale et intuitive pour le fonctionnement. LAM RESEARCH 2300 Exelan est une solution idéale pour la gravure/cueillette à haut débit d'un large éventail de matériaux, y compris Si, GaAs, Ti, silicium multicristallin et amorphe. Il est conçu avec la durabilité et la flexibilité à l'esprit et est l'un des systèmes de gravure/ashing les plus populaires et fiables sur le marché aujourd'hui.
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