Occasion LAM RESEARCH 2300 Exelan #9003988 à vendre en France

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ID: 9003988
Flex etch system, 8" (3) Chambers 2300 Ver 2.0 Mainframe Robot CDM Cable Lengths (TM to Sub Panel) : 100ft Loaders included Cassette Interface: (3x) Open Cassette 25 Slot Input Buffer Station User Interface: Front Mount Side (3x) 2300 Exelan Flex LEAP Etch Chambers: Kalrez O-rings PM ISO Valve (Chemraz Rocker V) Dual Chiller New Heater for IGS Gases Cable Lengths (EMO/Gateway) : 50ft Quick Clean Kit Service Tool Kit Gas Box: (9) Gas line Config (IGS) (1) Additional Gas line IGS) Heated Gas line Package Gas Interface Box (Covers 3 Process Modules) Gas Box Configuration (MFC: HORIBA STEC Z300) Line# - MFC Type - Gas - Size (sccm) 1 SZ313 C4F8 50 2 SZ313 NSR 50 3 SZ313 Ar 1000 4 SZ313 O2 200 5 SZ313 CO 200 6 SZ313 CF4 200 7 SZ313 H2 500 8 SZ313 CH2F2 50 9 SZ313 O2 3000 10 SZ313 N2 1000 11 SZ313 CHF3 100 12 SZ313 O2 20 RPDB for Dual Channel Pump Exhaust Dilution Box Options: System UPS Support GFI CBs System Calibration & Alignment Kit Signal Light Tower (R-A-G-B-C) 200mm Signal Lamp Tower Mini Environment Air Intake Software: APC Recipe Tuning 2nd HSMS(Fab Common) Support De-installed 2007 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Exelan est un équipement de gravure plasma avancé et de haute précision utilisé pour créer des motifs complexes de haute qualité à la surface de matériaux comme le silicium et le verre. Le système est conçu pour assurer un contrôle précis du processus de gravure, permettant la création de motifs très complexes avec des effets de bord minimes. L'unité Exelan est équipée d'une machine d'imagerie avancée et d'un contrôle intégré des motifs qui permet un contrôle précis des motifs. L'outil d'imagerie capture des images du substrat qui sont ensuite utilisées pour contrôler à la fois l'emplacement de la gravure et la quantité de matériau à enlever. L'actif est également équipé d'un régulateur de puissance en boucle fermée, permettant au modèle d'effectuer des réglages précis de la puissance de sortie lors de la gravure, assurant que le matériau est gravé dans les paramètres souhaités. L'équipement est programmé via un logiciel, permettant à l'utilisateur de personnaliser ses motifs de gravure avec une interface utilisateur intuitive. Le système dispose également d'un langage de requête avancé qui permet l'évaluation automatisée des données. Cette fonctionnalité permet aux utilisateurs d'analyser rapidement les motifs de gravure et de faire des ajustements au processus de gravure en temps réel. L'unité Exelan est conçue pour la production de semi-conducteurs, offrant le plus haut niveau de précision pour créer des motifs complexes sur des substrats en silicium et en verre. La machine a été conçue pour être extrêmement fiable et offre un faible taux de défaillance avec un temps d'arrêt minimal. L'outil d'imagerie avancé, le contrôle précis de la puissance et le langage de requête avancé permettent à l'utilisateur de créer des gravures précises rapidement et avec une grande précision.
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