Occasion LAM RESEARCH 2300 Exelan #9003988 à vendre en France
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Vendu
ID: 9003988
Flex etch system, 8"
(3) Chambers
2300 Ver 2.0 Mainframe
Robot CDM
Cable Lengths (TM to Sub Panel) : 100ft
Loaders included
Cassette Interface:
(3x) Open Cassette
25 Slot Input Buffer Station
User Interface:
Front Mount
Side
(3x) 2300 Exelan Flex LEAP Etch Chambers:
Kalrez O-rings
PM ISO Valve (Chemraz Rocker V)
Dual Chiller
New Heater for IGS Gases
Cable Lengths (EMO/Gateway) : 50ft
Quick Clean Kit
Service Tool Kit
Gas Box:
(9) Gas line Config (IGS)
(1) Additional Gas line IGS)
Heated Gas line Package
Gas Interface Box (Covers 3 Process Modules)
Gas Box Configuration (MFC: HORIBA STEC Z300)
Line# - MFC Type - Gas - Size (sccm)
1 SZ313 C4F8 50
2 SZ313 NSR 50
3 SZ313 Ar 1000
4 SZ313 O2 200
5 SZ313 CO 200
6 SZ313 CF4 200
7 SZ313 H2 500
8 SZ313 CH2F2 50
9 SZ313 O2 3000
10 SZ313 N2 1000
11 SZ313 CHF3 100
12 SZ313 O2 20
RPDB for Dual Channel
Pump Exhaust Dilution Box
Options:
System UPS Support
GFI CBs
System Calibration & Alignment Kit
Signal Light Tower (R-A-G-B-C)
200mm Signal Lamp Tower
Mini Environment Air Intake
Software:
APC Recipe Tuning
2nd HSMS(Fab Common) Support
De-installed
2007 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Exelan est un équipement de gravure plasma avancé et de haute précision utilisé pour créer des motifs complexes de haute qualité à la surface de matériaux comme le silicium et le verre. Le système est conçu pour assurer un contrôle précis du processus de gravure, permettant la création de motifs très complexes avec des effets de bord minimes. L'unité Exelan est équipée d'une machine d'imagerie avancée et d'un contrôle intégré des motifs qui permet un contrôle précis des motifs. L'outil d'imagerie capture des images du substrat qui sont ensuite utilisées pour contrôler à la fois l'emplacement de la gravure et la quantité de matériau à enlever. L'actif est également équipé d'un régulateur de puissance en boucle fermée, permettant au modèle d'effectuer des réglages précis de la puissance de sortie lors de la gravure, assurant que le matériau est gravé dans les paramètres souhaités. L'équipement est programmé via un logiciel, permettant à l'utilisateur de personnaliser ses motifs de gravure avec une interface utilisateur intuitive. Le système dispose également d'un langage de requête avancé qui permet l'évaluation automatisée des données. Cette fonctionnalité permet aux utilisateurs d'analyser rapidement les motifs de gravure et de faire des ajustements au processus de gravure en temps réel. L'unité Exelan est conçue pour la production de semi-conducteurs, offrant le plus haut niveau de précision pour créer des motifs complexes sur des substrats en silicium et en verre. La machine a été conçue pour être extrêmement fiable et offre un faible taux de défaillance avec un temps d'arrêt minimal. L'outil d'imagerie avancé, le contrôle précis de la puissance et le langage de requête avancé permettent à l'utilisateur de créer des gravures précises rapidement et avec une grande précision.
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