Occasion LAM RESEARCH 2300 Exelan #9054659 à vendre en France
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ID: 9054659
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2004
Oxide etcher, 8"
Cass nest plastic, 8"
Wafer shape: SNNF (Semi notch no flat)
(4) Process chambers:
Position 1: 2300 Exelan
Position 2: 2300 Exelan
Position 3: 2300 Exelan
Position 4: 2300 Exelan
Front end load port cassette:
(3) Open cassettes
Backing pumps for TM iPX
User interface option: Side & front monitor UI
Earth leakage breaker ELB
Signal tower
SECS/ GEM
Platform type: Version 2
2300 Exelan options:
Chamber type 2300 Exelan CFE
Upper electrode heated
ESC Cooling dual zone
1600 L/S EDWARDS Turbo pump, 8"
Endpoint detection optical emission spectroscopy
Chamber isolation valve rocker gate valve
2300 Gas box:
Gas system type: Enhanced gas box II
Std stacking kits: 4 PM Stacking kit
Gas line 12 gas configuration
Gas box inlet option: Regulated inlet gas panel
Gas filters: Standard filter
Gas box configuration:
PM1 MFC Type: Unit 1661 metal, digital
Line 1 Ar 1000 sccm
Line 2 O2 50 sccm
Line 3 N2 200 sccm
Line 4 O2 2000 sccm
Line 5 CHF3 100 sccm
Line 6 C4F8 20 sccm
Line 7 CH2F2 50 sccm
Line 8 C4F8 50 sccm
Line 9 CF4 100 sccm
Line 10 NSR70%He/30%O2100 sccm
Line 11 C4F6 20 sccm
Line 12 NSR Xe 300 sccm
Line 13 HeO2 20 sccm (Tuning gas)
PM2 MFC Type: Unit 1661 metal, digital
Line 1 Ar 1000 sccm
Line 2 O2 50 sccm
Line 3 N2 200 sccm
Line 4 O2 2000 sccm
Line 5 CHF3 100 sccm
Line 6 C4F8 20 sccm
Line 7 CH2F2 50 sccm
Line 8 C4F8 50 sccm
Line 9 CF4 100 sccm
Line 10 Line 10 NSR70%He/30%O2100 sccm NSR70%He/30%O2100 sccm
Line 11 C4F6 20 sccm
Line 12 NSR Xe 300 sccm
Line 13 HeO2 20 sccm (Tuning gas)
PM3 MFC Type: Unit 1661 metal, digital
Line 1 Ar 1000 sccm
Line 2 O2 50 sccm
Line 3 N2 200 sccm
Line 4 O2 2000 sccm
Line 5 CHF3 100 sccm
Line 6 C4F8 20 sccm
Line 7 CH2F2 50 sccm
Line 8 C4F8 50 sccm
Line 9 CF4 100 sccm
Line 10 NSR70%He/30%O2100 sccm
Line 11 C4F6 20 sccm
Line 12 NSR Xe 300 sccm
Line 13 HeO2 20 sccm (Tuning gas)
PM4 MFC Type: Unit 1661 metal, digital
Line 1 Ar 1000 sccm
Line 2 O2 50 sccm
Line 3 N2 200 sccm
Line 4 O2 2000 sccm
Line 5 CHF3 100 sccm
Line 6 C4F8 20 sccm
Line 7 CH2F2 50 sccm
Line 8 C4F8 50 sccm
Line 9 CF4 100 sccm
Line 10 NSR70%He/30%O2100 sccm
Line 11 C4F6 20 sccm
Line 12 NSR Xe 300 sccm
Line 13 HeO2 20 sccm (Tuning gas)
2300 Peripherals:
DFC Backing pumps cust supply
DFC TCU Config LAM supply: (4) 4080 Plus
Gas scrubber: EBARA GTE-3-0WVT
Power distribution module: RPDB
Dry pumps:
TM EDWARDS iPX 100A
PM1 EBARA AA100W
PM2 EBARA AA100W
PM3 EBARA AA100W
PM4 EBARA AA100W
No SMIF interface
2004 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Exelan est un équipement de graveur/asher de pointe conçu pour un large éventail d'exigences de processus avancées. C'est une plateforme multi-outils qui est modulaire et évolutive pour répondre aux besoins d'une variété d'applications de processus. L'Exelan offre une large gamme de paramètres configurables et d'options pour offrir des performances supérieures dans une faible empreinte. Le système est équipé de technologies de pointe telles qu'une source magnétron avancée, une unité de support intégrée incluant une machine de rétroaction en temps réel, et des capacités avancées de suivi et de transfert des plaquettes. La source magnétron intégrée et évoluée avec sa large gamme de niveaux de puissance, de fréquences et de gaz offre une précision et une répétabilité supérieures pour toutes les applications. La flexibilité de configuration de l'Exelan permet aux clients de choisir leur propre niveau de personnalisation pour répondre au mieux à leurs besoins particuliers. L'outil de rétroaction en temps réel fourni fournit un contrôle en boucle fermée, permettant de repérer des recettes de précision qui peuvent être facilement modifiées et appliquées sur l'ensemble de l'outil. 2300 Exelan dispose de capacités avancées de suivi et de transfert de plaquettes qui combinent l'alignement de précision, le positionnement et les capteurs de déplacement ainsi que des algorithmes logiciels sophistiqués pour atteindre un contrôle de processus inégalé et la productivité. Cette vaste infrastructure, ainsi que les capacités intégrées de matériel, de logiciel et de communication, constituent la base d'une plate-forme de gravure avancée, prête à la production, à la fois robuste et fiable. L'Exelan peut également fournir un support à distance grâce à la connexion Ethernet standard pour la surveillance, le diagnostic et les mises à niveau. Cet atout permet aux clients à la flexibilité de personnaliser leur environnement logiciel pour répondre à leurs propres exigences spécifiques. LAM RESEARCH 2300 Exelan offre une plate-forme avancée et complète et la flexibilité nécessaire pour répondre à une grande variété de besoins d'application. Sa conception modulaire permet l'évolutivité et la configurabilité, tandis que son modèle de contrôle propriétaire permet des processus précis et reproductibles. Cette plateforme conviviale peut être facilement mise à niveau pour répondre aux besoins futurs et intégrée dans les lignes de production existantes. Avec sa source de magnétron avancée, son équipement de support intégré et ses capacités de suivi et de transfert des plaquettes, l'Exelan est un choix idéal pour toute exigence de processus.
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