Occasion LAM RESEARCH 2300 Exelan #9158591 à vendre en France
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ID: 9158591
Taille de la plaquette: 12"
Etcher, 12"
EFEM:
Load port (1): Yes
Load port (2): Yes
Load port (3): Yes
Atm robot: No
Wafer alignment: Yes
Power control rack:
AC Rack: No
Rear user interface monitor: No
Robot controller: No
P/C: No
Vacuum TM:
Airlock (Right): Yes
Airlock (Left): Yes
VTM Robot: No
TM / PM Facility lines: Yes
Slop valve load lock (Right): Yes
Slop valve load lock (Left): Yes
Vacuum TM: Part No
Inner door Assy (Air lock Right): 853-007861-002
Inner door Assy (Air lock Left): 853-007861-003
Inner door Assy (PM2): 853-007859-002
Inner door Assy (PM3): 853-007859-004
Inner door Assy (PM4): 853-007859-923
Process module:
PM2:
2300 Exelan:
Model no: Exelan 2300
Vintage: 2003
VAT Pendulum valve: Yes
Turbo pump (ATH 1600M): Yes
Turbo controller: Yes
WAP Manometer:
Model no: 628B01TED1B
OES Spectrometer: Yes
AC Box: Yes
Fore line manometer: Yes
Turbo pump fore line isolation valves, manometers: Yes
Interlock PCB: Yes
VME Assembly: Yes
DC Power: Yes
BICEP Power supply / RF Match: Yes
He cooling / Lift box: Yes
RF Cart:
RF System A/C power: Yes
Generator (TCP): Yes
Generator (BIAS): Yes
Gas box(GIB): Yes
MFC 1_C4F8: Yes
MFC 2_N2: Yes
MFC 3_O2: Yes
MFC 4_CF4: Yes
MFC 5_O2: Yes
MFC 6_CHF3: Yes
MFC 7_AR: Yes
MFC 8_: Yes
MFC 9_O2: Yes
MFC 10_O2: Yes
MFC 11_CH2F2: Yes
MFC 12_C3F8: Yes
RPDB Power box: Yes
PM3:
2300 Exelan:
Model No: Exelan 2300
Vintage: 2003
VAT Pendulum valve: Yes
Turbo pump (ATH 1600M): Yes
Turbo controller: Yes
WAP Manometer:
Model no: E28B-23743
OES Spectrometer: Yes
AC Box: Yes
Fore line manometer: Yes
Turbo pump fore line isolation valves, manometers: Yes
Interlock PCB: Yes
VME Assembly: Yes
DC Power: Yes
BICEP Power supply / RF Match: Yes
He cooling / Lift box: Yes
RF Cart:
RF System A/C power: Yes
Generator (TCP): Yes
Generator (BIAS): Yes
Gas box (GIB): Yes
MFC 1_C4F8: Yes
MFC 2_N2: Yes
MFC 3_O2: Yes
MFC 4_CF4: Yes
MFC 5_O2: Yes
MFC 6_CHF3: Yes
MFC 7_AR: Yes
MFC 8_: No
MFC 9_O2: Yes
MFC 10_O2: No
MFC 11_CH2F2: No
MFC 12_C3F8: No
PM4:
2300 Exelan:
Model no: Exelan 2300
Vintage: 2003
VAT Pendulum valve: Yes
Turbo pump (ATH 1600M): Yes
Turbo controller: Yes
WAP Manometer:
Model no: E28B-23747
OES Spectrometer: Yes
AC Box: Yes
Fore line manometer: Yes
Turbo pump fore line isolation valves, manometers: Yes
Interlock PCB: Yes
VME Assembly: No
DC Power: Yes
BICEP Power supply / RF Match: Yes
He cooling / Lift box: Yes
RF Cart:
RF System A/C power: Yes
Generator (TCP): Yes
Generator (BIAS): Yes
Gas box (GIB): Yes
MFC 1_C4F8: Yes
MFC 2_N2: Yes
MFC 3_O2: Yes
MFC 4_CF4: Yes
MFC 5_O2: No
MFC 6_CHF3: Yes
MFC 7_AR: Yes
MFC 8_: No
MFC 9_O2: Yes
MFC 10_O2: No
MFC 11_CH2F2: No
MFC 12_C3F8: No.
LAM RESEARCH 2300 Exelan est un graveur/asher conçu pour répondre aux besoins de la production avancée de semi-conducteurs. Il est capable d'effectuer une gamme d'opérations de gravure et de gravure telles que la gravure plasma, la gravure humide, l'ablation laser et le bombardement à l'oxygène. L'unité est construite pour des performances fiables et répétables et peut traiter jusqu'à 9 pouces de plaquettes avec les dernières technologies de processus. Équipé d'une double chambre, l'Exelan peut traiter différentes plaquettes indépendantes les unes des autres, chaque chambre fonctionnant dans des conditions distinctes. La fonction d'optimisation du contrôle des processus (PCO) d'Exelan garantit des conditions optimales de gravure du plasma. Le BCP surveille le plasma au fur et à mesure de son traitement et ajuste les paramètres pour maintenir les spécifications souhaitées. Cela aide à prévenir les défauts et la ferraille et contribue à maintenir la stabilité du processus. Le système de mouvement de l'Exelan est conçu pour le transport silencieux et précis des plaquettes pendant le processus de gravure. Sa technologie Quiet Motion utilise la conception de moteurs à très faible bruit et des algorithmes avancés de motorisation. Son système de vision Wyko est utilisé pour surveiller la position de la plaquette en temps réel et est équipé d'un alignement basé sur la vision pour assurer un positionnement précis de la plaquette à une précision de 0,1 micron (1 millionième de mètre). Le protocole de commande amélioré par plasma (PECP) d'Exelan, une suite logicielle puissante, permet de réagir rapidement aux changements de processus et d'améliorer les performances de production. PECP se compose d'une suite d'ordinateurs, de programmes et de diagnostics qui sont utilisés pour surveiller, contrôler, diagnostiquer et optimiser les performances de l'Exelan. Il peut être configuré pour exécuter des recettes personnalisées et peut même être intégré aux systèmes d'automatisation existants. L'Exelan est conçu dans un souci de sécurité en fournissant des ports d'échappement hermétiquement fermés et de multiples embouts de sécurité conçus pour fonctionner avec des systèmes d'interception locaux. En outre, il est conçu pour réduire les coûts d'entretien et réduire les temps d'arrêt. Tous les composants critiques sont conçus pour une utilisation facile à partir du panneau avant et des composants accessibles. L'Exelan est une solution de graveur/asher fiable et polyvalente qui est optimisée pour répondre aux normes élevées de production de semi-conducteurs de pointe. Équipé de fonctionnalités et de technologies avancées, l'Exelan garantit des performances constantes et un fonctionnement fiable.
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