Occasion LAM RESEARCH 2300 Exelan #9298287 à vendre en France
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ID: 9298287
Taille de la plaquette: 12"
Dielectric etcher, 12"
Process: KIYO_EXEL_CU
Chambers
V2 Mainframe
(3) Load ports
Chemicals / Gases:
Chamber positions 1, 2, 3 and 4: C4F8, CF4, Ar, H2, CHF3, CH2F2, C4F6, 30%O2He
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Power: 208 AC, 3 Phase, 400 A.
LAM RESEARCH 2300 Exelan est un système de gravure/aspiration qui utilise la gravure plasma ou gazeuse pour modeler et traiter la matière organique sur des plaquettes semi-conductrices. Ce système est utilisé dans la fabrication de circuits intégrés, notamment pour les applications de mémoire avancée. Il dispose d'une configuration de source multi-pistolet et est un excellent choix pour la gravure conforme. 2300 Exelan a été conçu avec une configuration de huit chambres. Il lui permet de fournir des couches gravées très homogènes qui sont nécessaires pour des IC de haute qualité. Il est également conçu avec une capacité de gravure plus avancée qui permet de générer du plasma à des niveaux submicroniques. Cette capacité de gravure est essentielle pour la fabrication d'applications mémoire avancées. De plus, LAM RESEARCH 2300 Exelan a une capacité de débit plus élevée, lui permettant de traiter jusqu'à 80 wafers par heure. 2300 Exelan est équipé de générateurs de plasma basse fréquence (LFP) avancés, lui permettant d'effectuer des gravures de contrôle sur une large gamme de profondeurs. Il dispose également de processus de contrôle innovants tels que le réglage de pression totale et le contrôle de la température qui aident à assurer une gravure précise. En outre, LAM RESEARCH 2300 Exelan est conçu avec un système automatisé de contrôle de la pression de la source qui offre à l'utilisateur la flexibilité d'ajuster la pression de la source pour différents substrats. 2300 Exelan comprend également un ensemble de capteurs qui surveillent parfaitement les paramètres du processus et fournissent à l'utilisateur des boucles de rétroaction ouvertes pour contrôler le processus de gravure. Dans le cadre de sa conception avancée, LAM RESEARCH 2300 Exelan comprend également un algorithme très avancé qui aide à optimiser chaque cycle. Cela aide à améliorer la vitesse de gravure tout en maintenant l'uniformité et la précision du produit fini. Dans l'ensemble, 2300 Exelan est un excellent choix pour la gravure conforme de substrats délicats. Son débit élevé, ses techniques avancées et sa flexibilité le rendent bien adapté aux exigences rigoureuses des applications mémoire avancées. Avec sa configuration multi-canons, son contrôle précis et sa précision exceptionnelle, LAM RESEARCH 2300 Exelan est une excellente option pour tous vos besoins de gravure/aspiration.
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