Occasion LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #293640239 à vendre en France
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ID: 293640239
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
Etcher, 12"
RF Match
Missing PENDULUM INSTRUMENT Valve
EDWARDS STP-A2203C3
PENDULUM INSTRUMENT 65048-PH52-ADR1 Valve
Manometer:
CM1: E28D-30653 Range 0.1 Torr
CM2: 625A-14059 Range 10 Torr
CM3: 6254-14059 Range 10 Torr
AC Enclosure
Anapaizer board
DC Enclosure power supply
VME Enclosure
CPU VME 7671
Lon control board
VIOP Board step driver
Lonworks IP Server
RF Feed line
ESC Power supply
OES Cable
(3) Noad boards
Helium MFC
Photon controller
Capacitor control board
Interlock board
SCU-1600 TMP Controller
2 MHz, 5000 W Generator
27 MHz, 3000 W Generator
60 MHz, 2500 W Generator
EFEM:
BROOKS AUTOMATION ATM Robot (151864CUR)
Aligner
Buffer
Cool station
Missing pump
Terminal server
OHT Sensor node board
AGV Node board
Ethernet server
UI Panel
AC Rack:
BROOKS AUTOMATION ATM Robot controller (175789R)
UPS Power supply
Hard Disk Drive (HDD) Missing
PC
Monitor
Circuit breaker
Load port:
BROOKS AUTOMATION V2 (002-7200-29, 32)
LP1
LP2
LP3
VTM:
L-VAT Door: AL1, AL2 (07512-UA24-ADI2)
Angle valve: AL1, AL2, TM (MKS)
Pressure gauge: AL1, AL2, TM
Rocker valve: AL1, AL2, PM2, PM3, PM4
Magnatran7 VTM ROBOT
Solenoid valve
VTM Motherboard
Node board
Super slot board
GIB Gas box:
V2 (IGS Type)
Damper
No FIB
Gas line:
PM2: 571-033051-12535B1, Gas Line: 12
PM3: 571-033051-12535C1, Gas Line: 12
PM4: 571-033051-12535D1, Gas Line: 12
Missing parts:
Hard Disk Drive (HDD)
EFEM Pump
2007 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Flex 45 est un graveur/asher de génération avancée fabriqué par l'un des meilleurs fabricants de semi-conducteurs de l'industrie. 2300 Flex 45 est conçu pour fournir une gravure précise et fiable des plaquettes avec silicone, germanium, arséniure de gallium, et d'autres matériaux. Cette partie de la gamme de produits LAM RESEARCH est conçue pour des applications où des résultats de haute qualité et une productivité élevée sont essentiels. LAM RESEARCH 2300 Flex 45 a une grande capacité de 45 plaquettes par chambre, et est hautement configurable avec des gousses séparées pour les applications de gravure et de cendrage. Le processus de gravure est contrôlé par une unité de commande puissante qui fournit un niveau de précision et de répétabilité non disponible d'autres systèmes. Pour un contrôle précis, 2300 Flex 45 utilise un équipement de vision breveté qui balaye le motif dans la plaquette pour fournir des résultats de gravure précis. LAM RESEARCH 2300 La chambre de dépôt Flex 45 est capable de contrôler les vitesses, la température du substrat et la pression pour créer des revêtements avec une uniformité et un rendement supérieurs. Ce système est connu pour sa conception robuste, qui permet non seulement une gravure à haut rendement, mais aussi des délais de traitement rapides et un temps d'arrêt minimal entre chaque processus. La conception de cette unité permet également de travailler avec des matériaux à haute température, ainsi que des matériaux à basse température. En outre, la machine dispose d'une conception de chambre optimisée qui assure une distribution uniforme des gaz et une réduction des gradients de température du processus. 2300 Machine Flex 45 peut également être configuré avec une unité de cryo-gravure optionnelle, qui ajoute un élément cryogénique au processus de gravure. LAM RESEARCH 2300 Flex 45 est un graveur/asher haut de gamme dans l'industrie des semi-conducteurs, et c'est un choix idéal pour les applications nécessitant un outil extrêmement robuste et fiable. 2300 Flex 45 dispose d'une large gamme de caractéristiques puissantes pour créer des revêtements uniformes, reproductibles et à haut rendement, tout en maintenant des taux de traitement et des températures de fonctionnement élevés. Pour toute application semi-conductrice nécessitant une gravure et un cendrage très précis, LAM RESEARCH 2300 Flex 45 est un excellent choix.
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