Occasion LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9255633 à vendre en France

LAM RESEARCH 2300 Flex 45 est un équipement de graveur/asher à plasma utilisé pour divers procédés de gravure et de dépôt. Il est conçu pour offrir un procédé de gravure et de dépôt efficace et performant dans une chambre de taille moyenne, ce qui améliore la productivité. Le système comprend une chambre de 45 cm de diamètre et un générateur RF à haute puissance gravé en série EvergreenMD EvergreenMD à longue durée de vie pour fournir les performances de procédé souhaitées. La gamme de pression du procédé est de 15 mTorr à 550 mTorr et la température maximale est jusqu'à 300 ° C L'unité est capable de fournir des procédés de gravure multiples, du revêtement antireflet (ARC) aux procédés de nettoyage humide avec un PFG optionnel (générateur de fluorure de plasma). En outre, la machine est équipée d'un ensemble de fonctions d'automatisation de haut niveau et de diagnostics avancés au niveau du vide. Le logiciel contrôlé par la logique et convivial permet aux utilisateurs de créer des recettes de processus, de configurer et de surveiller le processus de gravure, et d'analyser les résultats. L'outil offre également des standards industriels élevés en matière de sécurité, avec des procédures de sécurité automatisées et des relais de sécurité intégrés. Un élément d'éclairage avancé avertit les opérateurs d'un dysfonctionnement, et un signal d'alarme est affiché pour illustrer un problème potentiel de sécurité. Le modèle est adapté à des procédés de gravure plus exigeants, tels que la gravure d'alliage, les procédés à haute température et la gravure de métal. 2300 Flex 45 est idéal pour les fabricants de semi-conducteurs et de MEMS à la recherche d'un procédé de gravure/dépôt avancé dans un équipement de taille moyenne plus économique.