Occasion LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9255641 à vendre en France
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ID: 9255641
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2013
Etchers, 12"
2013 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Flex 45 est un graveur/asher spécialement conçu pour les processus de gravure et de cueillette de plasma. Il fait partie de la série FLEX de graveurs/cendres, qui se caractérisent par une excellente uniformité plasmatique et une grande précision de processus lors de la réalisation de processus complexes à haute température. Ce graveur/asher multi-étapes offre des capacités de gravure et de cueillette parallèles à grand volume, offrant un débit maximal. 2300 Flex 45 utilise une technologie de plasma EDGE propriétaire, permettant à l'équipement d'offrir des performances de gravure et de cendrage supérieures. Cela permet une excellente définition et répétabilité des fonctionnalités. LAM RESEARCH 2300 Flex 45 dispose d'une chambre de traitement d'un diamètre de 15 pouces qui est conçue pour le traitement en mode lot ou monobloc. Il est capable de fonctionner à haute pression et est capable de jusqu'à cinq étapes de processus configurables. Il peut traiter le budget thermique jusqu'à 2000 watts et les budgets de pression jusqu'à 70 mTorr, permettant un traitement complexe. 2300 Flex 45 dispose également de LAM RESEARCH, une technologie d'automatisation des procédés à la pointe de la technologie, offrant flexibilité et contrôle précis des processus. Son contrôleur dOsC de précision maintient une répétabilité de processus élevée et une couverture de wafer complète à toutes les étapes. Pour garantir une qualité de processus élevée, le graveur/asher dispose d'un mandrin basculant et d'un mécanisme flexible de maintien des plaquettes qui maintient la sécurité des plaquettes pendant les processus gravés et cendrés. En outre, ce système comprend un certain nombre de fonctions de sécurité, y compris de multiples dispositifs de sécurité et capteurs qui surveillent la surtension des paramètres de l'unité, la température, la pression et une foule d'autres paramètres. Cela confère à la machine un avantage en termes de fiabilité, de durabilité et de performance globale. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH 2300 Flex 45 est un outil avancé de graveur/asher qui peut exécuter une grande variété de processus avec plus d'efficacité et de précision, tout en offrant une excellente économie de processus, et la sécurité. C'est un excellent choix pour les applications de traitement plasma à haut volume.
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