Occasion LAM RESEARCH 2300 Flex EX #9227341 à vendre en France

LAM RESEARCH 2300 Flex EX est un graveur/asher avancé conçu pour des besoins de production à haut volume. Il est capable de fournir des processus de gravure et de cueillette d'une qualité et d'une précision exceptionnelles sur une variété de substrats. 2300 Flex EX dispose d'une chambre scellée sous vide et résistante chimiquement, entièrement automatisée, simplifiant le fonctionnement et améliorant la stabilité du procédé. Cet équipement en boucle fermée fournit une chambre d'évaporation propre et sûre pour les substances réactives et toxiques avec deux dispositifs de contrôle de la contamination. Un système intégré de surveillance de l'environnement est intégré pour améliorer la sécurité des procédés. La grande chambre permet de grandes tailles de substrat, et peut accueillir jusqu'à 12 « x12 » x6 « substrats en acier inoxydable ou en quartz ainsi que 6 » plaquettes de quartz. Pour une uniformité, une couverture et une capacité de gravure efficaces, LAM RESEARCH 2300 Flex EX est capable de réaliser des processus de gravure avec jusqu'à 6 étapes et 12 gaz. L'unité est également livrée avec un choix de deux sources de gaz haute performance, soit avec une machine de pompage turbo-moléculaire ou une combinaison d'une pompe rotative de support et d'une cryo-pompe. En outre, 2300 Flex EX dispose d'un outil de contrôle avancé avec une chambre de processus entièrement programmable, avec une large gamme de configurations de processus et de gravure. Il dispose également d'un outil de surveillance de la température et de la pression en temps réel, pour une acquisition de données plus rapide et précise, ainsi que d'une gamme de fonctions de diagnostic et d'auto-test intégrées pour faciliter le fonctionnement et le dépannage. Utilisant le matériel et les logiciels les plus récents, LAM RESEARCH 2300 Flex EX offre une polyvalence et une fiabilité à un coût abordable, ce qui en fait la solution de gravure et d'ashing parfaite pour plusieurs matériaux de substrat et applications de processus. Avec son fonctionnement simplifié et sa conception axée sur la sécurité, le 2300 Flex EX offre une solution de production fiable et performante.