Occasion LAM RESEARCH 2300 Flex EX #9270658 à vendre en France

LAM RESEARCH 2300 Flex EX est un outil de graveur/asher indépendant haute performance pour les besoins de traitement plasma haute densité. Il est conçu pour gérer la gravure et l'ashing de couches critiques pour la fabrication avancée de dispositifs semi-conducteurs. 2300 Flex EX dispose d'une interface utilisateur intuitive de plate-forme ouverte, offrant un accès facile aux systèmes de gestion des processus et des recettes, avec la possibilité de stocker jusqu'à 30 recettes. La machine offre également une excellente homogénéité de procédé, des taux de contamination extrêmement faibles et une uniformité de substrat supérieure. LAM RESEARCH 2300 Flex EX utilise une variété de technologies de contrôle de processus d'ingénierie pour assurer d'excellentes performances de gravure. Il s'agit notamment du contrôle avancé des sources de plasma pour une gravure efficace, de l'auto-FID (Advanced Fundamental Interface Diagnostics) pour la surveillance des processus en temps réel et des modules de contrôle des processus (PCM) pour le traitement en boucle fermée afin d'assurer l'uniformité des gravures. 2300 Flex EX dispose également de consoles d'opérateur basées sur Windows, fournissant une interface utilisateur graphique intuitive pour une configuration et une surveillance faciles. LAM RESEARCH 2300 Flex EX est capable de traiter des substrats jusqu'à 200mm de diamètre et utilise soit une source de plasma à distance (RPS), soit une source d'excitation directe (DES) pour la gravure. La conception de la machine fournit une chambre de processus éclairée et une excellente stabilité du processus grâce à l'utilisation de conduites de gaz chauffées et de double obturateur de cartouche de plaquette. 2300 Flex EX offre également une conception optionnelle de verrouillage de charge à distance pour le chargement et le déchargement intégrés des substrats. LAM RESEARCH 2300 Flex EX est équipé d'un système intégré d'alimentation en gaz in situ qui fournit jusqu'à 8 gaz livrés aux processus, avec un système intégré de chauffage latéral pour assurer une température arrière uniforme des plaquettes. La machine dispose également d'un dispositif de nettoyage in situ pour le nettoyage post-gravure afin d'éliminer les particules et les résidus dans la chambre de traitement. Enfin, le 2300 Flex EX offre de nombreuses fonctions de diagnostic in situ avancées, telles que l'imagerie plasma, pour l'optimisation complète des processus et la maintenance des chambres. Ces caractéristiques, combinées à la conception avancée de la chambre et du procédé, font de LAM RESEARCH 2300 Flex EX un excellent outil pour les besoins avancés de traitement du plasma.