Occasion LAM RESEARCH 2300 Flex EX #9270870 à vendre en France

LAM RESEARCH 2300 Flex EX est un graveur/asher de précision conçu pour fournir précision et vitesse de gravure et de cueillette de structures précises et complexes. Cet équipement dispose d'une grande chambre de processus qui peut être chauffée de la température ambiante jusqu'à 500 ° C, permettant d'aspirer une grande variété de matériaux semi-conducteurs et MEMS. Les gaz actifs O2, N2 et PLOT, ainsi que la technologie de turbo-pompage, fournissent un environnement de vide dans la chambre pour des performances de gravure et de cueillette optimales. Le système dispose d'un bras robotisé avec une plate-forme de manutention de plaquettes positionnables. Cette combinaison avec le logiciel avancé et la robotique offre à l'opérateur une flexibilité et une capacité maximales dans la programmation et le fonctionnement de l'unité. La machine supporte le chargement et le déchargement automatiques du substrat avec des cassettes spécialisées en option, permettant la gravure ou l'ashing des plaquettes traversantes et le déroulement efficace des opérations en plan divisé. Le LAM 2300 Flex EX est conçu avec un outil d'alignement de plaquettes de haute précision pour une précision supérieure dans la manipulation des plaquettes. Cet actif présente aussi YFS (le logiciel d'YieldFocus) - un algorithme d'optimisation automatisé pour optimiser la gravure à l'eau forte et les conditions ashing selon les critères spécifiques mis par l'opérateur. En outre, il est livré avec une position de plaquette en temps réel et un modèle de suivi métrique pour la fixation précise et précise des plaquettes. Cet équipement intègre en outre des fonctions avancées de contrôle des processus et d'enregistrement des données pour le diagnostic des processus en cours et en post-exécution. Les gaz O2, N2, PLOT peuvent être réglés avec précision pour créer un environnement de processus stable. De plus, le LAM LAM RESEARCH 2300 Flex EX offre une gamme d'options de métrologie de processus telles que le ECD (Electrical Content Deposition) et le XRF (X-ray Fluorescence). Pour conclure, 2300 Flex EX est un graveur/asher très efficace et précis conçu pour répondre aux exigences les plus strictes du processus de fabrication des semi-conducteurs et des MEMS. Le système utilise la métrologie en temps réel et le contrôle des processus pour garantir un rendement élevé et de faibles défauts tout en offrant un maximum de flexibilité, de précision et de vitesse.