Occasion LAM RESEARCH 2300 Flex #9062178 à vendre en France
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ID: 9062178
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2003
Dry etcher, 12"
Non-SMIF
GEM
Wafer OF type: notch at 6 o'clock
TM Robot: Brooks Mag7
EFEM Robot: Brooks (white)
PM: 3-Ch
TMP: (3) Alcatel ATM 1600
Generator: (3) APEX1513/RFDS
Gas Box: Digital gas box
Loadport
2003 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Flex est un graveur à plasma électromagnétique multifonctions spécialement conçu pour la fabrication et la recherche de semi-conducteurs. Il a la capacité de réaliser des processus de gravure, de passivation, de décapage d'oxyde et de gravure de métal. L'équipement est composé d'une unité de base compacte et extensible, qui est équipée d'une alimentation haute fréquence, d'un système de manutention des matériaux, d'une chambre de processus et d'une pompe à vide. L'alimentation haute fréquence permet la plus grande précision et la plus grande répétabilité des paramètres de processus, même lorsqu'ils fonctionnent sur une large gamme de tensions, de courants et de pressions. L'unité de manutention assure un chargement, un déchargement et un transfert de matériaux précis et reproductibles. Cette machine peut être constituée d'un robot, d'un ou plusieurs verrous de charge qui servent à isoler la chambre de procédé de l'environnement ambiant, ou d'un outil rotatif d'alimentation du tambour selon les besoins de l'utilisateur. La chambre de procédé est l'endroit où les processus de gravure et de cueillette ont lieu. La chambre est connectée intérieurement à l'alimentation haute fréquence et à la pompe à vide qui fournissent un environnement contrôlé et ultra-haut vide pour le traitement. La chambre est conçue pour avoir d'excellentes parois optiquement claires et des gaz d'échappement très bas qui permettent à l'actif de maintenir à la fois un vide élevé et des pressions internes faibles nécessaires pour les processus de gravure et de cueillette sensibles. 2300 Flex peut être configuré avec divers gaz et composants chimiques pour la flexibilité de traitement de nombreux matériaux, y compris les métaux, la céramique, les oxydes et les polymères. Le modèle peut également être utilisé pour le traitement et le durcissement des photorésistances et l'amincissement des plaquettes. LAM RESEARCH 2300 Flex est un équipement modulaire et convivial conçu pour les applications de production en série et en ligne. Il offre une fiabilité, une haute précision de contrôle des processus, et une large gamme de fonctionnalités qui en font un excellent choix pour les processus de gravure et d'ashing.
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