Occasion LAM RESEARCH 2300 Flex #9157494 à vendre en France
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LAM RESEARCH 2300 Flex Etcher/Asher est une plate-forme avancée de gravure plasma et de nettoyage plasma largement utilisée conçue pour un contrôle efficace et précis des processus. Il est capable d'exécuter des recettes de séquences multi-chambres et d'appliquer une gravure uniforme ou propre dans des processus répétitifs fiables. Cet équipement utilise une technologie plasma de pointe pour déposer, graver et nettoyer une variété de matériaux avec un contrôle précis. Il est idéal pour une large gamme d'applications dans les industries des semi-conducteurs, MEMS, électronique et optoélectronique. Ce système dispose d'une unité de transport mécanique 5 axes avec trois modules - module de traitement, module de stockage et module de vanne de grille - pour fournir des performances élevées. Chaque module offre des avantages et des capacités de processus uniques. Les modules de procédé offrent un large choix de gaz de procédé, tels que les ions réactifs et les chimies de gravure, permettant à l'utilisateur de définir différentes conditions de gravure, y compris la température élevée, et les niveaux de puissance RF et DC. Le module de stockage permet le chargement dynamique et le déchargement de substrats pour traitement ou stockage soit dans le module ambiant scellé, soit dans un environnement de salle blanche. Enfin, le module de vanne de grille permet une isolation rapide et une commutation de ligne de gaz pour des processus de recouvrement. 2300 Flex est équipé d'une machine d'automatisation à plusieurs niveaux conviviale, permettant à l'utilisateur de définir des recettes et de contrôler les paramètres du processus, accélérant ainsi efficacement et optimisant le débit. Il est également équipé d'outils de surveillance et de diagnostic avancés, offrant une visibilité des processus et une rétroaction en temps réel pour ajuster et corriger les paramètres afin d'améliorer la stabilité et la fiabilité des processus. LAM RESEARCH 2300 Flex est un outil de processus fiable qui permet des performances précises et répétables avec des charges de capacités de contrôle de processus. En adoptant une conception de séquence multi-chambres avancée, il soutient l'intégration d'une variété d'applications de gravure et de nettoyage dans un seul outil. Son architecture robuste comprend des systèmes de transport mécanique et d'automatisation, qui permettent aux utilisateurs de définir rapidement et facilement les paramètres du processus. Il offre des performances fiables et reproductibles tout en maintenant des économies et de meilleurs temps d'utilisation. 2300 Flex est un graveur/asher fiable et efficace qui répond aux besoins de plusieurs marchés.
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