Occasion LAM RESEARCH 2300 Flex #9157500 à vendre en France

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ID: 9157500
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2003
Oxide etcher, 12" (3) Chambers HDD Not included Currently warehoused 2003 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Flex est un équipement de graveur/asher conçu pour graver avec précision et asher des motifs complexes sur des plaquettes semi-conductrices. C'est un système hautement automatisé qui est compatible avec une variété de technologies telles que la gravure par plasma, le fraisage par faisceau d'ions et la gravure chimique. L'unité utilise le contrôle intégré des processus, le mouvement automatisé des étages et le fonctionnement de la machine à recette pour assurer un alignement précis des plaquettes et l'uniformité des gravures/cendres. 2300 Flex offre un débit élevé avec une faible variabilité, ce qui le rend idéal pour la production en série de plaquettes semi-conductrices. La machine utilise une chambre de processus multi-chambres, dans laquelle différentes étapes de processus peuvent être manipulées indépendamment. Il est également capable de résister simultanément au revêtement et à la cendre. Cela permet un traitement efficace des photomasques complexes et des configurations de fonctionnalités, ce qui peut conduire à un biais de gravure minimal et à une uniformité améliorée. L'outil offre également une imagerie haute résolution, une purge dynamique de l'O2 propre, et un contrôle de processus adaptatif (APC), qui fournissent un contrôle de gravure précis. Cette technologie garantit la précision et la répétabilité des processus tout en évitant les dommages à la plaquette. De plus, LAM RESEARCH 2300 Flex dispose de diagnostics en temps réel pour surveiller le processus de gravure et détecter les anomalies, ainsi qu'une gamme de configurations de chambres et d'options de température. L'actif offre un maximum de temps d'utilisation et de disponibilité de la machine et est conçu pour simplifier la maintenance et permettre le passage rapide des processus de gravure. 2300 Flex est pré-configuré avec des modules qui agissent comme une gravure, un cendrier ou une capacité spécifique, comme la résistance au dénudage ou au fraisage par faisceau ionique. Ces modules permettent aux utilisateurs de personnaliser le modèle en fonction des besoins des différents processus. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH 2300 Flex est un équipement de graveur/asher avancé qui offre une gravure précise et un ashing de motifs complexes de plaquettes. Il utilise une gamme de technologies avancées de contrôle des processus et d'imagerie pour assurer l'uniformité des gravures/cendres, tout en assurant un changement efficace des processus. Le système est fiable et conçu pour assurer un temps de disponibilité maximal pour un environnement de production de masse à haut débit.
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