Occasion LAM RESEARCH 2300 Flex #9244818 à vendre en France

LAM RESEARCH 2300 Flex est un équipement de graveur/asher conçu pour le traitement précis des gravures. Le système est conçu pour fournir une profondeur de gravure uniforme, des rapports d'aspect et des topographies de bord dans les dispositifs microélectroniques avancés et les produits à couches minces. 2300 Flex offre des fonctionnalités avancées telles que le contrôle haute résolution du processus de gravure, l'alignement automatique du processus de gravure, et des corrections de gravure adaptatives. Ces caractéristiques rendent l'unité idéale pour les processus impliquant des profils de gravure précis, tels que la gravure MEM. La machine dispose également d'une configuration multi-sources unique qui permet de commuter entre différents gaz en fonction des exigences du procédé. Cela permet une variété étendue de recettes de gravure qui peuvent répondre aux besoins spécifiques des clients. LAM RESEARCH 2300 Flex offre la flexibilité nécessaire pour contrôler précisément le processus de gravure en fournissant une variété de géométries de chambre. Ceux-ci comprennent circulaire, rectangulaire, module, et des formes personnalisées. En outre, l'outil peut être équipé de capteurs avancés, de contrôleurs et de composants entraînés pour un contrôle serré des paramètres du processus de gravure. 2300 Flex peut être configuré avec une grande variété de composants de processus, permettant une variété de processus de gravure. Il peut s'agir de la gravure ionique réactive (RIE), de la gravure par faisceau ionique réactif (RIBE), du dépôt chimique en phase vapeur à basse pression (LPCVD), du dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD), de la gravure par pulvérisation, du traitement thermique rapide (RTP) et de la gravure sèche. LAM RESEARCH 2300 Flex comprend également une gamme d'options de sources de plasma, telles que le plasma à couplage capacitif (CCP), le plasma à couplage inductif (ICP) et les sources d'énergie à courant continu (DC), ce qui permet d'améliorer le contrôle des procédés et les exigences spécifiques des procédés. Au total, 2300 Flex est un atout idéal pour des applications de gravure précises, avec des capacités à la fois pour des profils de gravure haute résolution et des temps de débit rapides. Il est également capable de mener une variété de processus de gravure, permettant une flexibilité maximale pour les besoins personnalisés.