Occasion LAM RESEARCH 2300 Flex #9244863 à vendre en France
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LAM RESEARCH 2300 Flex est un équipement de graveur/asher à grande échelle très complexe conçu pour la production de plaquettes de circuit intégré (IC). Ce système multi-longueurs d'onde gravure/cendres est capable de traiter une variété de matériaux, y compris le silicium, le quartz et les métaux. 2300 Flex intègre un design de chambre unique, ce qui élimine le besoin d'échange de chambre. Cette caractéristique permet à LAM RESEARCH 2300 Flex de fournir des rendements plus élevés car le transfert de matière entre les chambres n'est pas nécessaire pendant le processus de gravure. L'unité est composée d'une source multi-longueurs d'onde, d'un guide d'ondes du PCI et d'une unité de contrôle informatique afin d'assurer une flexibilité maximale du processus. La machine est équipée d'une source avancée de faisceau d'ions qui peut générer une pulvérisation photorésistante à haute énergie, une gravure réactive/cendres et une gravure neutre/cendres. Cette fonctionnalité rend 2300 Flex idéal pour produire des IC avec des exigences de performance exigeantes. LAM RESEARCH 2300 Flex comprend également un étage laser de précision, qui peut fournir un alignement précis des caractéristiques dans le processus de gravure et/ou de cueillette. L'outil est équipé d'un contrôleur informatique avancé avec des paramètres définis par l'utilisateur qui offrent un haut degré de flexibilité de processus. De plus, 2300 Flex prend en charge un outil de serrage automatisé et une cloche évacuable pour améliorer la performance du processus et l'optimisation du temps de cycle. Ceci permet la surveillance et l'alignement des buses de plaquettes sans avoir à échanger manuellement des porteurs de plaquettes. LAM RESEARCH 2300 La combinaison d'options avancées de pulvérisation photorésistante haute énergie, de gravure réactive et de cendrage neutre de Flex en fait un choix idéal lors de la production d'IC de pointe avec des exigences de performance exigeantes. Il est capable d'augmenter la productivité grâce à sa conception à chambre unique et à son modèle automatisé de verrouillage de charge. En outre, il offre un haut degré de flexibilité de processus grâce à son contrôleur informatique ainsi que des capacités d'alignement de fonctionnalités précises grâce à son étage laser de précision. Ces caractéristiques combinées font de 2300 Flex la solution de gravure/cendres parfaite pour des exigences IC de haute performance croissantes.
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