Occasion LAM RESEARCH 2300 Flex #9244871 à vendre en France

LAM RESEARCH 2300 Flex est un graveur/asher conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Il fournit une solution économique pour l'étape critique de la fabrication des plaquettes. En utilisant un appareil de gravure à sec XeF2 (fluorure de xénon) et un système de cendres humides, 2300 Flex est en mesure d'enlever les films non métalliques et métalliques de la plaquette. Cette unité de précision a été conçue pour une intégration facile dans les fabs existants et est extrêmement robuste. LAM RESEARCH 2300 Flex propose trois procédés de gravure différents pour répondre au mieux aux besoins de chaque application. Il s'agit notamment d'une gravure chimique, d'une gravure de plasma et d'une gravure thermique. En tirant parti du procédé de gravure chimique XeF2, la machine est capable de graver uniformément des topographies extrêmement complexes et d'enlever des films à un rythme beaucoup plus rapide que les gravures expérimentales traditionnelles. L'utilisation d'un procédé plasma couplé inductivement haute densité permet à l'outil de graver à travers des matériaux avec un haut niveau de sélectivité, tout en maintenant un taux de gravure élevé. En outre, lorsqu'il est utilisé en combinaison avec une cendre humide aval, 2300 Flex fournit un processus en deux étapes avec une première gravure plasma suivie d'une cendre humide. LAM RESEARCH 2300 Flex est équipé de fonctionnalités avancées pour un contrôle précis des paramètres du processus de gravure. Ces caractéristiques comprennent une modulation indépendante de chacun des paramètres du processus, permettant un contrôle précis de la vitesse de gravure, de l'uniformité et de la sélectivité. 2300 Flex peut également être entièrement automatisé, permettant des processus reproductibles et des résultats cohérents. Un actif intégré d'enregistrement des données est également inclus, permettant une analyse précise des résultats et la fiabilité des processus. Le modèle présente également des caractéristiques de sécurité de premier ordre, y compris l'arrêt de gaz en vrac d'urgence, la purge de sécurité des conduites de gaz et un équipement d'échappement forcé pour enlever tout sous-produit dangereux résultant d'un processus de gravure. De plus, LAM RESEARCH 2300 Flex comprend un système de décharge électrostatique intégré pour protéger le processus de gravure de toute électricité statique présente. Dans l'ensemble, 2300 Flex est un graveur/cendres efficace et fiable offrant un meilleur contrôle et précision des processus. Avec ses capacités d'intégration simples et ses caractéristiques de sécurité, LAM RESEARCH 2300 Flex est une solution fiable et économique pour tout procédé de fabrication de semi-conducteurs.