Occasion LAM RESEARCH 2300 Kiyo E Series #9407036 à vendre en France
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LAM RESEARCH 2300 Kiyo E Series est un graveur/asher de plaquettes de bureau conçu pour garantir la répétabilité des processus et la précision des techniques de gravure et d'ashing des plaquettes. Cette machine permet des techniques de gravure et de cueillette de plaquettes dans un débit de 300 WSPM avec une précision de 0,05 mm sur une seule plaquette. Il est idéal pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, la production de biocapteurs et de MEMS, et les applications de recherche et développement. 2300 Kiyo E Series dispose d'une chambre de traitement de tourelle multi-cavités qui fournit plusieurs niveaux de contrôle environnemental et de compatibilité d'interface. Il est équipé d'un équipement de chauffage conforme très sensible, qui permet un chauffage uniforme de la plaquette sur toute sa surface. Cela garantit des résultats reproductibles et précis. En outre, le taux élevé de dépôt dû à l'amélioration du chauffage conforme offre une efficacité maximale du procédé tout en réduisant les déchets. LAM RESEARCH 2300 Kiyo E Series dispose également d'un mécanisme à double action et à double retour qui contrôle la manipulation de la plaquette et la place exactement à la bonne position pour la gravure et le cendrage. Cela se fait à l'aide d'un système hydraulique très dynamique, qui fournit un emplacement précis et maintient l'intégrité du produit. Le mécanisme de l'effecteur final est également compatible avec une large gamme de tailles de plaquettes, de 50mm à 200mm. Le graveur/asher dispose également d'une unité de commande intelligente multi-points qui offre un contrôle précis du flux de gravure et de cueillette. Cette machine permet également à la machine d'auto-ajuster les paramètres pour améliorer la répétabilité et l'efficacité du processus. En outre, il est conçu en utilisant une architecture de conception propre, qui garantit une stabilité maximale du processus et réduit l'effort de maintenance de l'outil. Enfin, la série 2300 Kiyo E offre des caractéristiques de sécurité avancées qui assurent la sécurité des opérateurs, comme un bouton d'arrêt d'urgence et un rideau de sécurité. Cela garantit la sécurité complète de l'opérateur lors de l'exploitation de la machine.
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