Occasion LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX #293636765 à vendre en France
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Vendu
ID: 293636765
Style Vintage: 2012
Metal etcher
Missing parts:
Qty / Description
(3) / Load ports
(1) / ATM Robot
(1) / Aligner
(1) / EPX180N Pump
(1) / Terminal server
(1) / UI Computer
(1) / 24 V DC Power supply
(1) / ATM Robot controller
(1) / UPS
(1) / TM Solenoid bank
(1) / Scara arm
(1) / VTM Robot
(1) / Super slot board
(4) / Chamber rocker assemblies
(2) / Airlock rocker assemblies
(12) / STEC MFCs
(4) / TCP Matches
(4) / TCP Coil assemblies
(4) / ASSY, 2300 SYM Doors linkage
(4) / ESC, Bowl cover with hinges and pivots
(4) / MNMTR Ports, end PT
(4) / Liner, bias MNTG Plates
(4) / WLDMT, INTFC Chambers separate NOZ
(4) / INJ, Dual, FACSEAL, IEP, HNYCMB, CER
(4) / Windows, ceramic LSR repair
(4) / Windows, quartz
(4) / Rings, edge combo quartz, 12"
(4) / Multiport vacuum valves
(4) / Plasma door shaft sleeves
(4) / Windows, CER LLT CTD Bayonet 2300
(4) / ESC, Tunable M-Z, 12"
(4) / Chambers, top PC 2300 MTL/PL
(4) / TCR
(4) / Liners, SYM Hi-flow 2300 SRC
(4) / Liners, fixed outer ACME 230
(4) / Cantilever liners
(4) / ESC Insulator rings
(4) / HTR-FAN TCW Assemblies (Left hairdryer)
(4) / HTR-FAN TCW Assemblies (Right hairdryer)
(4) / Bias matches
(4) / He enclosures
(4) / PS 15 ABD 24 VDC
(4) / VME
(4) / VAT Pendulum 2300 Valves
(4) / 2.7 L Turbo VAC PMP
(4) / AC Enclosures
(4) / RF Carts
(4) / Node 1
(4) / Interlock boards
(4) / Proces manometers
(8) / Chamber and foreline manometers
(4) / TCP RF Cables
(4) / Bias RF Cables.
LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX est un graveur/asher conçu pour répondre aux besoins précis de l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. Cet équipement de pointe a été spécialement conçu pour répondre aux exigences du traitement chimique humide des substrats utilisés dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Le but principal de cet équipement est de graver sélectivement des couches de matière sur des plaquettes de silicium. Il est capable de produire des couches ultra minces de matériaux afin de créer des caractéristiques qui ne sont que des nanomètres d'épaisseur. Les couches minces sont critiques pour contrôler les dimensions et les caractéristiques des éléments résistifs tels que les transistors. 2300 Kiyo MCX est une machine compacte à répétition qui fonctionne en mode lot. C'est un équipement à trois axes avec une chambre horizontale et un système de dispersion de poudre, avec une pulvérisation magnétique intégrée. Le pulvérisateur disperse une couche uniforme de matériau sur le substrat, qui peut ensuite être gravée/cendrée par des procédés chimiques humides traditionnels. L'équipement comprend plusieurs composants tels qu'un filtre de recirculation, une enveloppe de quartz et une unité de vide. L'enveloppe de quartz empêche la chaleur de l'élément résistif d'affecter d'autres zones du substrat, permettant des processus de gravure/cueillette précis. Une machine à vide est utilisée pour éliminer les résidus gravés et les matières excédentaires, tandis que le filtre de recirculation élimine les contaminants et les particules pour assurer le produit de la plus haute qualité. LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX est capable de fonctionner à des vitesses d'environ 10 pieds par seconde, permettant une productivité et une répétabilité accrues. Toutes les étapes de traitement chimique humide sont automatisées, tandis que les systèmes de contrôle de rétroaction permettent aux utilisateurs de surveiller le processus et d'ajuster facilement les paramètres au besoin. De plus, des dispositifs de sécurité sont intégrés à l'outil, y compris des alarmes et des emboîtements, pour s'assurer que tous les processus sont terminés en toute sécurité. Le haut niveau de précision et de fiabilité atteint par 2300 Kiyo MCX en font le choix idéal pour les besoins complexes de traitement de substrat de l'industrie de fabrication de semi-conducteurs. Avec ses systèmes automatisés et ses fonctions de sécurité complètes, ce graveur/asher est capable de produire de manière fiable des produits de haute qualité à des débits élevés.
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