Occasion LAM RESEARCH 2300 KIYO METAL(EFEM/TM) #9134009 à vendre en France

LAM RESEARCH 2300 KIYO Metal (EFEM/TM) est un graveur et asher de nouvelle génération utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Cet outil est conçu pour permettre un prototypage rapide, le développement de processus, et la production de fonctionnalités de périphériques avancées. Avec son contrôle avant de gravure avancé et ses capacités de sélectivité élevées, le 2300 KIYO TM peut fournir le plus haut niveau de précision de gravure en phase gazeuse et asher. Le 2300 KIYO peut être utilisé avec divers matériaux de substrat tels que le silicium, le quartz, le verre et les métaux. L'outil est capable de supporter les paramètres de base de la gravure des tranchées et des trous profonds. Ses capacités de gravure de trous profonds permettent le traitement de structures de sous-microns, tandis que ses capacités de gravure de tranchées peu profondes permettent la formation de couches ultra-minces. L'outil est également équipé de fonctionnalités avancées telles que l'accord de température multi-zones et la technologie LP-RF pour peaufiner les conditions de gravure pour des applications spécifiques. La configuration de 2300 KIYO TM comprend un générateur RF haute fréquence propriétaire, des sources d'alimentation ionique, un équipement de guidage ionique linéaire et une chambre à vide. L'outil fournit également un support pour les plaquettes à 1 et 2 côtés ainsi que pour les outils de gravure et de cendrier multiples. Le système comprend un contrôleur d'automatisation de pointe qui assure un contrôle rapide et fiable des processus. Le 2300 KIYO dispose également d'un mandrin électrostatique programmable intégré, qui assure un rendement de processus accru. Il dispose également de panneaux de gaz intégrés et de chambres à vide, qui permettent le fonctionnement à distance de l'unité. La machine est conçue pour atteindre une haute sélectivité et une vitesse de gravure améliorée, avec une vitesse de gravure totale allant jusqu'à 5E10 torr. L'outil comprend également un outil de suivi automatisé des plaquettes, qui assure une gravure cohérente et un débit élevé. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH 2300 KIYO est un puissant graveur et asher, conçu pour permettre un prototypage rapide, le développement de processus et la production de fonctionnalités d'appareil avancées. Ses fonctionnalités et capacités avancées le rendent parfaitement adapté à la fabrication de dispositifs dans l'industrie des semi-conducteurs.