Occasion LAM RESEARCH 2300 Kiyo #174756 à vendre en France

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ID: 174756
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Metal dry etch system, 12" Type of Loadport: SMIF Number of Process Chamber: (2) Metal Etch & (2) MWAVE STRPR Configuration of SMIF: Signal Tower: 3-colors Number of Loadport: 3 Parts No. of Loadport: 799-901175-004 Number of ATM Robot: 1 Parts No. of ATM Robot: 121668 Buffer Station: 25 slots, 2 Buffer Station Aligner: 1 Aligner Configuration of Transfer Chamber Number of Loadlock: 2 LL / 4 Slot Cool Chamber Model of Transfer Robot: Magnatran7 / Borrks Parts No. of Lock Valve: 853-007859-005 / 4ea TM Pressure Gauge: HPS Series907 / MKS TM Pressure Control: MKS Series640 LL Pressure Gauge: HASTING Configuration of Etch Chamber: PM2: Model of Chamber: 2300 Metal Year of Construction: 2005 Model of Pressure Gauge: MKS, 0.1Torr Model of Throttle Gate Valve: 65048-PH52-ADR1 VAT Model of Turbo Pump: ATH2300M Alcatel Model of TCP RF Generator: RFG / AE Model of Bias RF Generator: APEX1513 / AE Configuration of Etch Chamber: PM3: Model of Chamber: 2300 Metal Year of Construction: 2005 Model of Pressure Gauge: MKS, 0.1Torr Model of Throttle Gate Valve: 65048-PH52-ADR1 VAT Model of Turbo Pump: ATH2300M Alcatel Model of TCP RF Generator: RFG / AE Model of Bias RF Generator: APEX1513 / AE Configuration of MW Chamber: PM1: Model of Chamber: 2300 MWAVE STRPR Year of Construction: 04-2006 Model of Pressure Gauge: MKS, Dual range Model of Throttle Gate Valve: MKA, 253B-24836 Model of Vaporizer: MKS, WODMB-23398 Model of MW Generator: ASTEX, FI120160-3 Configuration of MFC: O2 5slm, N2 1slm Configuration of MW Chamber: PM4: Model of Chamber: 2300 MWAVE STRPR Year of Construction: 04-2006 Model of Pressure Gauge: MKS, Dual range Model of Throttle Gate Valve: MKA, 253B-24836 Model of Vaporizer: MKS, WODMB-23398 Model of MW Generator: ASTEX, FI120160-3 Configuration of MFC: O2 5slm, N2 1slm Configuration of Gas Panel, Etch Chamber: Type of Gas Panel: IGS Bolck Type No of Gas Channel: 8 Channel Model of MFC: UFG8561 PM2: BCL3 300sccm N2 50sccm Ar 500sccm O2 1slm CH4 50sccm SF6 200sccm Cl2 300sccm CHF3 50sccm PM3: BCL3 301sccm N2 51sccm Ar 501sccm O2 2slm CH4 51sccm SF6 201sccm Cl2 301sccm CHF3 51sccm Gas Box 1.25C Seal Type TMP Axiden ATH2300M Micro Wave Power Gen MKS FI20160-3 RF Generator AE APEX-1513 and AE RFDS-1213 Chiller Unisem RCS 2500A Power: 208VAC 3ph 4Wires 400AMPS 50/60Hz 2006 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Kiyo est un équipement de graveur/asher révolutionnaire conçu pour la précision, la fiabilité et la flexibilité. Ce système de graveur/asher avancé est conçu pour supporter des dispositifs de différentes tailles et configurations. Son architecture permet un contrôle précis des processus et une répétabilité lors de la gravure et de la cueillette d'un large éventail de matériaux de substrat. 2300 Unité Kiyo utilise des algorithmes intelligents pour calculer les paramètres de gravure et d'ashing optimaux pour chaque type de substrat, garantissant des résultats cohérents à chaque fois. Il est conçu pour réaliser des processus de planarisation mécanique chimique (CMP), de polissage mécanique chimique (CMP), de gravure chimique (ISO), de gravure ionique réactive profonde (DRIE) et de gravure ionique réactive (RIE). De plus, la machine est capable de nettoyer le dos avec précision. L'outil LAM RESEARCH 2300 Kiyo est équipé de plusieurs fonctionnalités avancées telles qu'une capacité d'analyse des flux de gaz, un contrôle de la température sur la plage de pression, un réglage du suscepteur et un mode de contrôle de la température du substrat. Ces fonctionnalités permettent à l'opérateur de personnaliser et d'ajuster l'actif pour obtenir les résultats de gravure et de cueillette souhaités. De plus, grâce à ses contrôles de processus intelligents intégrés, le modèle permet un suivi et un ajustement automatisés des paramètres de processus pertinents, donnant finalement des résultats reproductibles. 2300 Équipement Kiyo est également livré avec un logiciel intuitif pour un contrôle facile du système et la collecte de données. L'interface graphique et le logiciel de l'unité fournissent aux utilisateurs un environnement de gravure et d'ashing complet qui permet des performances de processus reproductibles et fiables. La machine permet également aux utilisateurs de surveiller et d'analyser les données du processus en temps réel via une connexion directe et multi-sites, permettant aux utilisateurs de prendre rapidement des décisions éclairées. Dans l'ensemble, l'outil LAM RESEARCH 2300 Kiyo etcher/asher offre une fiabilité et des performances inégalées pour graver et aspirer un large éventail de substrats. Ses fonctionnalités avancées et son logiciel intuitif offrent une expérience utilisateur facile et efficace, permettant aux utilisateurs d'obtenir des résultats reproductibles et cohérents à chaque fois. En combinant ces fonctionnalités et capacités, 2300 Kiyo actif fournit une solution complète de gravure et d'ashing pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.
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