Occasion LAM RESEARCH 2300 Kiyo #293634814 à vendre en France
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Vendu
ID: 293634814
Taille de la plaquette: 12"
System, 12"
FI
MF
Chamber
AC Rack
Gas up frame and pipe
Load port
Parts box
Gas box
Gas box inlet option: Reg filter inlet gas panel
Gas filters: Standard filter
Transducer type: Display
Chamber isolation valve: Barrier seal door
Gas delivery type: On-board (3 Line)
Injector: Standard (-072)
No leak
O-Rings: Fluorosilicone
PM to pump interconnect: Pump to PM, 100ft
Heated pendulum valve
MFC Type: STEC SEC-Z313
Line 1:
Gas flow-On Board: 1000sccm
Gas type-On Board: N2
Line 2:
Gas flow-On Board: 5000sccm
Gas type-On Board: O2
Line 3:
Gas flow-On Board: 2000sccm
Gas type-On Board: Ar
(3) Load port surface foggy non-functional
Missing parts:
Cooling station
(2) Buffer stations
Does not include HDD.
LAM RESEARCH 2300 Kiyo EX est un graveur/asher efficace capable de fournir à l'industrie des niveaux standard de gravure/ashing de matériaux avancés et des capacités de processus innovantes. Ce graveur/cendrier est conçu pour graver avec précision les structures et les motifs détaillés dans une variété de substrats jusqu'à 6 pouces de taille et est capable de supporter les applications de gravure/cendres les plus modernes d'aujourd'hui. 2300 Kiyo EX est livré avec un puissant équipement de gravure plasma à ultra-haut vide (UHV) intégré et une source d'énergie RF haute puissance et turbo pompe, permettant aux utilisateurs d'obtenir un meilleur contrôle de la haute sélectivité de gravure avec une stabilité de vitesse de gravure accrue. LAM RESEARCH 2300 Kiyo EX comprend également une configuration multi-chambres et un système avancé de contrôle de la température de la chambre pour un contrôle plus fin de la température et des résultats plus propres. En outre, cette unité de graveur/asher est équipée d'une puissante machine de serrure qui transfère rapidement et en toute sécurité les substrats dans et hors de la chambre de processus pour un chargement et un déchargement plus rapides des plaquettes. Le Kiyo EX dispose également d'un outil de détection du point d'extrémité contrôlé par plasma de haute précision, permettant aux utilisateurs de mesurer avec précision et de façon cohérente la profondeur de gravure/cendres lors des opérations de gravure/cendrage. Avec ses fonctionnalités avancées et ses capacités de pointe, 2300 Kiyo EX est idéal pour les opérations de gravure/cendrage à haut volume et offre la flexibilité nécessaire pour traiter les applications de gravure/cendres les plus difficiles. Cet actif graveur/cendrier est compatible avec tous les principaux processus de nettoyage des plaquettes et offre une uniformité et un débit améliorés pour répondre à tous les types d'exigences de gravure/cendres. Conçu avec des fonctionnalités de contrôle avancées et des capacités de processus, le Kiyo EX est un graveur/asher fiable et efficace pour les performances de gravure/ashing de pointe.
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