Occasion LAM RESEARCH 2300 Kiyo #293775899 à vendre en France

LAM RESEARCH 2300 Kiyo est un équipement automatisé de gravure/cendres conçu pour effectuer des processus de gravure et de cendres sur plusieurs plaquettes dans un seul outil avec des capacités de processus à sec et humide. Ce système est conçu pour être fiable, efficace et rentable. Le Kiyo est équipé de fonctions de transport automatisé des plaquettes, de manutention des plaquettes et de refroidissement des plaquettes pour plusieurs plaquettes. Il comprend une chambre de procédé autonome et est construit en acier inoxydable résistant à la corrosion pour assurer un fonctionnement fiable. La chambre fournit des conditions thermiques et de processus uniformes sur toutes les plaquettes, permettant une gravure ou des performances de cendrage cohérentes. Cette unité est également équipée d'un anneau d'arête en quartz, qui maximise l'uniformité et minimise le redéploiement du matériau de procédé. Le Kiyo est capable de manipuler une grande variété de tailles de plaquettes, allant de 2-8 pouces de diamètre de plaquettes. Il est capable de graver et d'aspirer des matériaux de haute densité tels que le tungstène et le silicium polycristallin, qui a diverses caractéristiques, y compris des murs à haut rapport d'aspect et des vias. Cette machine est également capable de traiter de petits passages, des inclusions et d'autres caractéristiques de rapport d'aspect élevé allant de 0,1 micron à 0,5 micron. Le Kiyo est conçu pour fournir des performances de gravure et de cendrage répétables et précises. Il est équipé de contrôleurs de débit de masse à grande vitesse et de précision et d'un contrôleur de processus numérique avec une capacité d'enregistrement de données en temps réel. L'outil est capable de graver et de soutirer plusieurs plaquettes simultanément, permettant un débit de traitement extrêmement rapide. Il dispose d'un débit fiable, réglable et contrôlé par la température des gaz de procédé pour la gravure et le cendrage à vitesse variable. Le Kiyo est équipé d'un système de vide à deux étages pour le chargement et le déchargement des plaquettes. Il dispose également d'un modèle de nettoyage automatisé des plaquettes, qui utilise le flux laminaire sans ozone pour le nettoyage en profondeur. Cet équipement comprend également un système de métrologie en ligne des plaquettes, qui assure la précision et la répétabilité des caractéristiques gravées et cendrées. Dans l'ensemble, 2300 unités de gravure/cendres Kiyo est une machine efficace et rentable qui produit des performances de gravure et de cendrage de haute qualité.