Occasion LAM RESEARCH 2300 Kiyo #293829181 à vendre en France

LAM RESEARCH 2300 Kiyo
ID: 293829181
Taille de la plaquette: 12"
Etcher, 12" (2) Chambers.
LAM RESEARCH 2300 Kiyo est un équipement de gravure et d'asher révolutionnaire de LAM RESEARCH Corporation, conçu pour fournir un traitement fiable, répétable et efficace des caractéristiques des appareils. Il dispose de deux systèmes avancés de gravure en amont et en aval : l'AEAS (Advanced Etch and Ash System) et l'HEAS (High Etch and Ash Unit). Les recettes avancées à base d'IA à bord permettent un contrôle précis du processus de gravure et des cendres afin d'obtenir des structures de dispositifs supérieures sans endommager la structure en silicium. La machine AEAS assure une gravure rapide de l'architecture de l'appareil à des vitesses ultra-élevées et la capacité de personnaliser les paramètres de processus pour chaque filière. Cela permet à l'outil d'obtenir des rendements remarquables avec une excellente répétabilité. L'actif HEAS offre en outre la flexibilité nécessaire pour répondre aux exigences de gravure profonde et peu profonde tout en conservant une fidélité supérieure aux caractéristiques. 2300 Kiyo dispose également d'un modèle d'imagerie haute résolution qui permet une surveillance précise des caractéristiques au niveau de la matrice. Ceci, combiné avec des fonctions d'inspection automatisée et d'auto-compensation, permet une exécution précise et répétable de la structure de l'appareil. En outre, des fonctions de surveillance avancées permettent d'obtenir une visibilité sur les paramètres de contrôle du processus et permettent un réglage à distance en cas de dérive du processus. Unique à LAM RESEARCH 2300 Kiyo est sa séparation des étapes de gravure et de dépôt de métal, fournissant des rendements de dispositifs plus élevés, des temps d'inspection réduits, et d'excellentes performances post-processus. Les capacités avancées d'uniformité bord-à-bord de l'équipement assurent un dépôt de film uniforme dans des tolérances serrées pour produire des structures de haute qualité. En outre, le système offre des capacités de métrologie complètes. Les fonctions d'auto-compensation permettent des mesures rapides des caractéristiques de la filière, permettant un meilleur contrôle et un meilleur rendement. L'unité offre une fiabilité et une disponibilité exceptionnelles tout en utilisant une énergie minimale, ce qui en fait une solution économique idéale pour les besoins de gravure et d'ashing. Avec une combinaison de haute performance et de répétabilité, 2300 Kiyo est une machine de pointe de gravure et asher qui est sûr d'établir une nouvelle norme de productivité.
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