Occasion LAM RESEARCH 2300 Kiyo #9161714 à vendre en France
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Vendu
ID: 9161714
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2003
Etcher, 12"
Notch wafers
Software OS: Windows
Non-SMIF type
Automation online component: SECE
Y2K Completion: Yes
2003 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Kiyo est un graveur et asher avancé conçu pour répondre aux besoins des fabricants de semi-conducteurs. Il est capable de gérer de manière précise et cohérente une grande variété de demandes de gravure et de couchage de plaquettes, substrats et autres matériaux. Le graveur est capable de travailler avec une variété de plaquettes de taille et peut appliquer jusqu'à trois couches de divers oxydes ou nitrures. Le graveur avancé est construit avec un équipement polygonal de pulvérisation à plusieurs têtes, lui permettant de couvrir une large surface avec facilité. Il est alimenté par une série de chambres à vide qui sont conçus pour créer l'environnement de gravure. Chaque chambre dispose d'un pistolet de pulvérisation spécial qui peut être utilisé pour graver le matériau, ou d'une pompe ionique à focalisation optique qui peut être utilisé pour un bombardement ionique rapide. L'graveur comprend également un mécanisme de verrouillage de charge pour assurer l'intégrité du matériau pendant le traitement des gravures. 2300 Kiyo etcher est équipé d'une gamme de systèmes de contrôle et de surveillance avancés. Il s'agit notamment d'un contrôleur à deux axes pour un contrôle précis du débit de gaz, d'un ensemble de capteurs de vide pour la surveillance des pressions de processus et d'un contrôleur de température numérique avancé pour un contrôle précis de la température. L'etcher dispose également d'un certain nombre de systèmes de diagnostic de processus, tels qu'un système d'enregistrement des données de fin de cycle, une unité de diagnostic plasma et une machine de détection d'arc. LAM RESEARCH 2300 Kiyo est un outil fiable et robuste pour la production de circuits intégrés de haute qualité. Son interface graphique conviviale et son contrôle automatisé des processus permettent une production efficace tout en permettant aux opérateurs d'accéder à des paramètres de processus avancés. Afin d'assurer un excellent rendement de la plaquette, l'outil dispose d'un certain nombre de fonctionnalités facultatives. Il s'agit notamment d'un outil d'autofocus, d'un moniteur d'ozone et d'un outil facultatif de détection in situ. De plus, un modèle facultatif d'enregistrement des données peut être utilisé pour surveiller les performances de gravure de l'équipement au fil du temps, ce qui permet aux opérateurs de mieux comprendre le processus. Ensemble, ces caractéristiques font de 2300 Kiyo un outil de gravure et de cueillette puissant et polyvalent.
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