Occasion LAM RESEARCH 2300 Kiyo #9302266 à vendre en France

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ID: 9302266
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2008
Poly etcher, 12" (4) Chambers (3) FOUP load ports RPDP AC Power box Does not include system pumps or chillers (16) Gas lines IGS Gas boxes: Gas line / Gas type / MFC Size Gas 1 / SiCl4 / 100 Gas 2 / BCI3 / 300 Gas 3 / Cl2 / 300 Gas 4 / HBr / 500 Gas 5 / CF4 / 400 Gas 6 / O2 / 500 Gas 7 / O2 / 200 Gas 8 / He / 500 Gas 9 / H2 / 200 Gas 10 / CH2F2 / 200 Gas 11 / Ar / 1000 Gas 12 / 30% O2He / 50 Gas 13 / NF3 / 1000 Gas 14 / N2 / 250 Gas 15 / CHF3 / 300 Gas 16 / SO2 / 200 2008 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Kiyo est un système de graveur/asher à plasma ultramoderne conçu pour un traitement précis et fiable des plaquettes. Il se caractérise par un design innovant et compact qui optimise l'empreinte de l'équipement et permet un déplacement et un contrôle plus précis. Ses capacités avancées sont complétées par une fiabilité et une répétabilité exceptionnelles, qui sont délivrées par un champ électrostatique supérieur, des mouvements de balayage précis et des flux de gaz précis pour une gravure précise à 360 °, monobloc. Le puissant et avancé Kiyo dispose d'une mécanique brevetée de détection d'arc (ADM) qui donne aux utilisateurs de processus un contrôle précis sur les processus de gravure et assure une excellente précision et uniformité de gravure. Avec ce contrôle basé sur l'application, les utilisateurs peuvent ajuster le débit de gaz appliqué et la pression pour des résultats de gravure précis qui minimisent le nombre de cycles de fonctionnement de l'outil. En outre, le Kiyo peut fournir des performances de gravure élevées sur les matériaux difficiles à graver tels que les photorésistants, le tungstène, le silicium, les diélectriques de haut k, et d'autres matériaux. Ceci est rendu possible par les modules de manutention des plaquettes spécifiques à l'application (MHF), qui fournissent un contrôle précis du mouvement et du mouvement avec balayage à grande vitesse. Le Kiyo est également équipé de plusieurs vannes d'échappement et régulateurs de débit massique pour permettre un contrôle précis du gaz et une répartition uniforme du gaz sur la surface de la plaquette. Ceci fournit une excellente répétabilité, ce qui est essentiel dans des applications telles que le MEMS et le microprocesseur. Le Kiyo comprend également une fonction spéciale qui aide à assurer la livraison de résultats de gravure propres - un système de pompe breveté qui aide à évacuer l'air et les sous-produits avant, pendant et après la gravure. En plus de ses fonctionnalités avancées, le Kiyo est conçu pour une utilisation facile, grâce à une interface utilisateur graphique (interface graphique). L'interface graphique permet aux ingénieurs de processus de définir facilement les paramètres de gravure, de surveiller les performances des outils et d'optimiser les recettes de processus pour des résultats cohérents et reproductibles. De plus, le Kiyo est capable de transférer des données vers un lecteur USB et peut même se connecter à un PC hôte pour d'autres manipulations et contrôles de données. Dans l'ensemble, 2300 Kiyo est une solution de gravure idéale qui fournit aux utilisateurs des résultats précis et reproductibles tout en minimisant les temps d'exécution des outils. Utilisant un contrôle de mouvement innovant, des flux de gaz précis et des fonctionnalités avancées telles que le système de pompe et les WHMs spécifiques à l'application, le Kiyo offre des performances de gravure optimales pour toute application.
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