Occasion LAM RESEARCH 2300 Kiyo #9372748 à vendre en France

LAM RESEARCH 2300 Kiyo est un graveur/asher sec de pointe pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. Cet équipement a été conçu pour une grande précision, un débit élevé et une uniformité. La technologie avancée des sources de plasma et la conception des chambres offrent une uniformité et une homogénéité supérieures dans les taux de gravure. Il est capable de produire des gravures diélectriques de haute qualité et d'autres films minces pour des technologies de pointe comme le MEMS et l'électronique de puissance. Le Kiyo utilise les technologies de gravure RIE et RF MFR pour des résultats de gravure supérieurs. Le générateur d'énergie électrique maintient un haut niveau de débit et des résultats de gravure de haute qualité pendant chaque cycle de gravure. Une unité de métrologie en ligne de précision permet de contrôler le taux de gravure en ligne en temps réel et d'analyser le processus de post-gravure pour s'assurer que le résultat de la gravure répond aux spécifications souhaitées. Le Kiyo comprend une chambre de réacteur de procédé qui permet l'uniformité et la répétabilité des processus plasmatiques. La chambre est reliée au générateur de plasma qui génère la puissance radiofréquence (RF) nécessaire au fonctionnement du procédé de gravure. La machine comprend également une station de transfert de plaquettes qui permet à l'opérateur de charger et décharger les plaquettes pour la gravure avec chargement manuel ou automatique. En plus de la gravure, le Kiyo offre également des capacités de cendrage. L'ashing est une forme de nettoyage plasmatique qui élimine la matière de la surface de la plaquette, y compris la résine photosensible et d'autres contaminants organiques ou inorganiques. Ashing est un élément crucial de nombreux processus de fabrication, et est utilisé pour créer les plans de protection nécessaires pour les dispositifs semi-conducteurs. 2300 Kiyo est un graveur/asher efficace et fiable qui fournit des performances idéales pour la production de dispositifs semi-conducteurs avancés. Sa précision en ligne métrologie et outil de contrôle permettent le plus haut niveau de précision pour des processus de fabrication efficaces. L'actif permet à la fois le traitement par lots et par tranche unique, ce qui offre une flexibilité pour diverses applications utilisateurs. Le modèle est également capable d'exécuter des recettes de processus complètes à partir d'un seul contrôleur, fournissant un traitement rentable et efficace.