Occasion LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x #9212622 à vendre en France

LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x etcher est un équipement automatisé de polissage chimique-mécanique (CMP), conçu pour le traitement avancé des couches de gravure diélectrique et métallique pour les applications de développement de puces. Le système Kiyo3x offre une meilleure planarisation et un contrôle de profil de fonctionnalités pour les applications CMP diélectriques et métalliques critiques, ce qui permet d'améliorer le rendement du dispositif, de réduire le coût total de propriété et d'optimiser l'intégration des processus. Le LAM 2300 Kiyo3x dispose d'un certain nombre de composants avancés, dont l'unité de micro-positionnement (MPS) brevetée, qui permet un alignement et un mouvement précis et répétable du substrat entre deux étages mécaniques. Ceci fournit une répétabilité micronique pour des résultats de couche de gravure extrêmement uniformes. Le Kiyo3x peut être équipé d'un maximum de deux contrôleurs liquides et de deux processus CMP modélisés LAM Endura, permettant des configurations personnalisées pour répondre aux exigences spécifiques de l'application. LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x est conçu avec des capacités avancées de contrôle des processus. La machine peut contrôler jusqu'à quatre paramètres de processus en utilisant l'analyse post-traitement ou la métrologie in situ. En outre, le Kiyo3x dispose d'un outil de contrôle de processus avancé qui offre un contrôle de processus en temps réel et des retours sur les résultats surveillés. Le Kiyo3x peut être configuré avec une variété d'étapes chimiques et mécaniques conventionnelles et unifiées et des recettes de processus. Les étages mécaniques offrent une large gamme de mouvement et de rotation pour répondre à une variété de besoins de traitement. 2300 Kiyo3x comprend également une gamme de conceptions brevetées d'adaptateurs de buse et de substrat pour le contrôle précis des caractéristiques, fournissant une gamme de formes de profil et de résolution de caractéristiques pour les couches de gravure sophistiquées. LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x offre de grandes performances et une large gamme de capacités pour les procédés de gravure métallique et diélectrique afin de fournir des résultats précis et optimisés pour une variété d'applications de développement de puces. L'actif offre un excellent contrôle de profil de fonctionnalités et la planarisation pour des rendements de production optimaux et réduit le coût total de la propriété. De plus, un contrôle et une surveillance précis des processus en temps réel garantissent un rendement optimal du dispositif et une répétabilité des processus.