Occasion LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x #9249855 à vendre en France

LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x
ID: 9249855
Etcher.
LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x est un graveur/asher de pointe utilisé dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Il offre une technologie de pointe et des caractéristiques conçues pour améliorer la productivité, le rendement et la qualité. C'est une machine polyvalente qui peut être utilisée pour graver et cendre des plaquettes, lunettes et autres composants semi-conducteurs. 2300 Kiyo3x dispose d'un équipement de surveillance et de contrôle des processus intégrés (IPM/C) en boucle fermée, qui assure la répétabilité du produit et l'optimisation du débit. Cette machine fournit également un contrôle précis de la température, une surveillance de la puissance et un couplage d'énergie RF pour s'assurer que le processus est optimisé pour chaque plaquette spécifique. LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x est équipé d'un système de détection in situ de la suppression des grappes (CRD) qui utilise un réseau de capteurs capacitifs pour détecter et surveiller les grappes de plaquettes en temps réel. 2300 Kiyo3x comprend une unité de gaz binaire haute performance avec une machine intégrée de livraison de gaz en vrac, qui permet un contrôle précis du gaz et une livraison mixte de gaz. En outre, cette machine dispose d'un outil de commutation de gaz haute vitesse avec une perturbation minimale du débit de gaz, ce qui permet des débits élevés et une faible contamination croisée. L'actif est également équipé d'un certain nombre de dispositifs de sécurité tels qu'un verrouillage de charge de faible puissance pour empêcher les pointes de pression de processus non intentionnelles, une protection plasma à haut courant et plusieurs détecteurs de fuites sonores et visuelles. LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x est divisé en trois modules de base : le Réactif-Ion-Etcher (RIE), l'Acid-Etch (AE) et l'Asher. Le modèle RIE est un procédé avancé à base de plasma sous vide qui est utilisé pour éliminer les résines, les films et les polymères. L'équipement AE est utilisé pour transférer un motif d'un masque à la plaquette. Le Asher est un graveur de post-traitement pour nettoyer tout résidu qui subsiste après la gravure. 2300 Kiyo3x fournit un ensemble complet de gestion des outils, qui facilite la planification et la gestion des outils requis pour chaque application spécifique. Ce système réduit les temps d'installation et d'arrêt de production en améliorant la gestion et le partage des données. De plus, LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x fournit un soutien aux processus en surveillant les données des processus et en fournissant une analyse détaillée du rendement des chambres. Cela permet d'assurer un rendement toujours élevé. En conclusion, 2300 Kiyo3x est une unité de graveur/asher avancée offrant les dernières technologies et fonctionnalités. Il offre un excellent contrôle et suivi des processus, des débits élevés, une faible contamination et une productivité globale améliorée. Toutes ces caractéristiques font de LAM RESEARCH 2300 Kiyo3x un excellent choix pour toute application semi-conductrice.
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