Occasion LAM RESEARCH 2300 Metal #293752355 à vendre en France

LAM RESEARCH 2300 Le métal est un équipement de gravure et de cueillette utilisé pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. Ce système est bien adapté pour des applications nécessitant la gravure et l'ashing de plaquettes semiconductrices 300mm et plus petites dans une atmosphère d'azote. 2300 Metal est une unité compacte entièrement automatisée conçue pour fournir un traitement efficace et rentable des plaquettes. Il est équipé de trois chambres de processus avancées, d'une machine de transfert de substrat avancé (AST), d'un contrôleur et d'une interface utilisateur graphique (GUI). Les chambres de processus de l'outil sont capables de réaliser des processus de gravure humide, de cendrage et de cendrage dopant. La chambre de gravure humide contient des solutions métalliques et chimiques chargées qui forment une zone chimiquement réactive lorsqu'un courant électrique est ajouté. Cette chambre est également capable de réaliser des procédés d'autodopage de diffusion. La chambre de cueillette dispose d'azote de haute pureté et d'une chambre de réaction à haute température. Cette chambre est utilisée pour former une couche oxydée à la surface de la plaquette. La chambre dopante est configurée pour traiter des dopants, tels que le phosphure d'indium, dans la structure de la plaquette. L'actif AST de LAM RESEARCH 2300 Metal se compose de plusieurs chambres de serrure et d'un bras mécanique tournant qui déplace des plaquettes d'une chambre à l'autre. Ce modèle aide à réduire la contamination des plaquettes et empêche l'oxydation ou la réaction avec l'atmosphère. Le contrôleur de l'équipement est un système informatique robuste avec un écran tactile GUI qui permet aux utilisateurs de surveiller et de contrôler l'ensemble du processus. Le contrôleur permet également aux utilisateurs de définir des paramètres pour l'efficacité et la précision du processus. 2300 Métal est conçu pour fournir une grande uniformité de processus, répétabilité et débit pour les processus de gravure et de cendrage. Avec sa puissante combinaison de chambres de procédés avancées, une convivialité simple et des performances fiables, LAM RESEARCH 2300 Metal est un outil inestimable pour tout laboratoire de fabrication de semi-conducteurs.