Occasion LAM RESEARCH 2300 Metal #9314599 à vendre en France

LAM RESEARCH 2300 Metal est un graveur/asher conçu pour être utilisé pour graver et aspirer une variété de matériaux métalliques et autres matériaux semi-conducteurs. Ceci est réalisé à l'aide d'un design multi-chambres avec trois chambres à plasma, deux chambres de gravure et un asher. C'est une solution de procédé très fiable pour une gravure et une cendre métalliques cohérentes avec des résultats reproductibles. La chambre de gravure est capable de graver divers métaux en utilisant une variété de préférences de gaz de gravure tels que l'azote, l'hydrogène, les gaz à base d'oxygène et les gaz à base de chlore. Il comprend également de nombreuses recettes de processus qui sont facilement exécutés à l'aide d'une interface utilisateur conviviale. LAM RESEARCH dispose également d'une configuration multi-chambres intégrée pour assurer une gravure et un cendrage efficaces et uniformes. Le cendrier est capable d'aspirer une variété de substrats métallisés dont l'or, le cuivre, l'aluminium et le titane. De plus, il peut également contenir un large assortiment de substrats non métalisés tels que des couches de passivation, des diélélectriques et du silicium polycristallin. Le cendrier présente une profondeur de cendrage de 1 à 5 microns avec une répétabilité du processus de meilleure que 1 %. 2300 Métal est équipé d'une variété de caractéristiques de sécurité telles qu'une sonde de sécurité d'échappement et un moniteur de sécurité incliné intégré. La sonde de sécurité d'échappement est conçue pour surveiller les pressions générées dans les chambres pour un fonctionnement prolongé. Le moniteur de sécurité incliné intégré est utilisé pour s'assurer que la chambre est bien alignée pour éviter une gravure ou une cendre pendant une durée excessive, évitant ainsi des dommages au substrat. En outre, il dispose d'un contrôleur automatisé haute performance avec une interface utilisateur graphique, qui fournit un contrôle complet sur les processus de gravure et d'ashing. L'interface utilisateur intégrée permet aux utilisateurs de programmer rapidement l'outil, de surveiller le processus de gravure et d'ashing et de modifier/modifier/lire les paramètres de la chambre. Le contrôleur est également conçu pour une intégration facile avec d'autres systèmes de gravure et de contrôle d'automatisation. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH 2300 Metal est un excellent choix pour la gravure et le cendrage des métaux. Il fournit le plus haut niveau de précision, de précision et de fiabilité avec des dommages minimes au substrat. Il est également soutenu par un service client fiable et efficace pour une configuration facile et un fonctionnement étendu.