Occasion LAM RESEARCH 2300 Metal45-CIP #9241984 à vendre en France

LAM RESEARCH 2300 Metal45-CIP est un équipement de graveur/asher conçu pour répondre à des délais de traitement courts et fournir des motifs gravés uniformément. Il est construit avec les dernières avancées technologiques, fournissant des résultats précis. Le système offre deux technologies de processus principales avec la possibilité d'ajouter des processus supplémentaires. Il est équipé d'une photolithographie amplifiée chimiquement (CAPL) qui peut graver des motifs avec une précision de +/- 0,001 microns. Il dispose également d'une option ALD (dépôt de couche atomique) qui est idéale pour créer des motifs de sous-microns et des films uniformes. De plus, l'unité offre une option de gravure chimique de l'air (CAE) pour graver des onglets ou d'autres caractéristiques fines dans une conception. La machine dispose d'une source de plasma à couplage inductif (ICP) de 45 cm × 45 cm, compatible avec salle blanche de classe 1. Il offre un outil de manutention de plaquettes entièrement automatisé pour une distribution précise et efficace des plaquettes, ainsi que des résultats uniformes sur une variété de matériaux de substrat tels que l'aluminium, le cuivre et divers matériaux bas-k. La source du PCI présente également un atout pour la distribution de deux gaz, permettant aux utilisateurs de séparer les gaz de traitement pour obtenir des résultats qui réduisent au minimum l'oxydation, la carburation et la combustion des liants. En outre, le modèle comprend une gamme de sources de vide, y compris turbo-moléculaire, ion-getter et cryo pompes, assurant la plus grande propreté pendant le traitement. Il dispose d'une serrure de charge étanche au vide avec un équipement de purge rapide, éliminant les dégazages et l'ingestion de particules. Le système a une température maximale de 950 ° C et peut accueillir jusqu'à 55 carrousels de plaquettes pour un chargement et un déchargement faciles et rapides de plusieurs plaquettes. En un mot, 2300 Metal45-CIP est une unité de graveur/asher avancée conçue pour répondre aux exigences de haute performance. Il offre une précision de processus supérieure et offre plusieurs technologies pour des résultats précis et uniformes. Avec sa conception sûre et compatible avec la salle blanche, sa machine de manutention rapide des plaquettes et sa variété de sources de vide, l'outil garantit des résultats efficaces et fiables pour une large gamme de substrats.