Occasion LAM RESEARCH 2300 V2 #293595429 à vendre en France
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ID: 293595429
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2002
Plasma processing system, 12"
Etch platform
(4) Exelan Chambers
(4) Gas boxes
Remote power distribution box
3LP EFEM
Vacuum transfer module
Control rack
BROOKS AUTOMATION ATR8 ATM Robot
BROOKS AUTOMATION MAG7 VTM Robot
(2) FOUPs
Cassette type: 25
No conditioning station
IPX / EPX Pump for TM
Side monitor user interface
Stainless wafer pads
No UPS
No ELB
R-O-G-B Signal tower
ESC Wafer clamping mechanism
ESC Power supply
ESC Hose kit
ESC Barbed facility plate
Wafer life mechanism: Direct drive
O-rings: Fluorosilicon / Viton
ATH 1600 M Turbo pump
Optical emission spectroscopy
Chemraz gate valve
2002 vintage.
LAM RESEARCH 2300 V2 Asher est un graveur/asher entièrement automatisé et de haute précision conçu pour la gravure à sec de certains matériaux. Il est idéal pour des applications telles que la fabrication de dispositifs, le traitement de dispositifs semi-conducteurs, la production de MEMS, la fabrication de circuits et d'autres procédés de production de masse. Il peut atteindre des profondeurs de gravure allant jusqu'à 300 µm, a une précision de gravure ± 0,05 µm et peut fonctionner à diverses températures jusqu'à 3000 ° F (1650 ° C). 2300 V2 Asher est piloté par un contrôleur sophistiqué qui comprend un équipement d'entraînement de cassette de wafer recirculé par soufflage et une chambre de processus en boucle fermée avec un système de vide pour un contrôle optimal du processus. La chambre de procédé contient deux systèmes de gravure indépendants, le premier pour la gravure du substrat et le second pour la gravure du dos. Il comprend également un robot de localisation et un logiciel autofocus. L'unité d'entraînement de la cassette de plaquettes permet un chargement/déchargement efficace des plaquettes pour un meilleur débit. LAM RESEARCH 2300 V2 est équipé d'un certain nombre de dispositifs de sécurité tels qu'un bouton d'arrêt d'urgence, une protection contre le verrouillage, une machine de détection et de filtration des fumées et une purge forcée de l'air pour empêcher les gaz et aérosols dangereux d'échapper à la chambre de traitement. Ces caractéristiques garantissent un fonctionnement fiable et sûr de l'graveur. 2300 V2 fournit une solution de gravure complète avec contrôle de processus intégré et logiciel. Cela comprend un ensemble puissant d'outils de processus et de contrôles de paramètres qui peuvent être programmés, surveillés et ajustés au besoin. Cela permet aux utilisateurs d'optimiser leur processus avec un maximum de précision et de traçabilité. L'outil est également conçu pour accueillir une grande variété de scripts personnalisés via le langage de script open-source, permettant aux utilisateurs de modifier l'actif en fonction de leurs besoins spécifiques. En conclusion, LAM RESEARCH 2300 V2 est un graveur/asher automatisé avancé avec une large gamme de fonctionnalités et de capacités. Ses fonctions avancées de contrôle des processus et de sécurité, ainsi que son langage de script open source, garantissent des opérations fiables et précises. Sa capacité de température, sa précision de gravure et son débit en font le choix idéal pour la production en série et d'autres procédés de fabrication de haute précision.
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