Occasion LAM RESEARCH 2300 V2 #293777560 à vendre en France

LAM RESEARCH 2300 V2
Fabricant
LAM RESEARCH
Modèle
2300 V2
ID: 293777560
Plasma processing system (3) Load ports (4) Kiyo CX Chambers (4) Kiyo MX Chambers (3) Wafer Load port modules Transfer chamber Robots ATM Robot with effectors Effector with effectors VTM Robot N2 / Purge vent TM control Communication protocol (RS232, LON).
LAM RESEARCH 2300 V2 est un graveur/asher haute performance utilisé pour enlever du matériau d'un substrat afin de modeler des circuits électriques ou de graver des matériaux sensibles. Le graveur/asher est capable de fonctionner avec un mélange de produits chimiques relativement sûrs à très corrosifs et peut traiter une grande variété de tailles de plaquettes, allant de 2 à 200 mm. La machine assure également un contrôle automatisé du substrat et des performances stables du module haute fréquence pour les processus reproductibles. Sa conception comprend une source de duopole robuste qui peut être alignée avec précision pour fournir une densité de flux cohérente et uniforme à travers un substrat. Les capacités de traitement avancées de 2300 V2 sont activées grâce au générateur RF haute performance, à la distribution de gaz multi-zones et au système de processus adaptatif. La machine peut fonctionner avec une variété de gaz de procédé, tels que HF, O2F2, SF6 et Cl2, ainsi que des mélanges de gaz réactifs, ce qui la rend apte à des applications de gravure et de cueillette dans une large gamme de vitesses de gravure et de tailles de plaquettes. La distribution multi-zones de gaz assure des profils de gravure anisotrope uniformes mais réalistes, tandis que la grande chambre est conçue pour fournir un environnement stable pour le temps de processus versus variation d'épaisseur totale. LAM RESEARCH 2300 V2 est équipé d'une interface d'écran tactile facile à utiliser, permettant aux utilisateurs de gérer et de surveiller rapidement le fonctionnement du graveur/asher. Le grand panneau de commande lumineux affiche des paramètres opérationnels, y compris l'étendue de la réaction et les temps de non-écoulement, permettant un diagnostic rapide et la prévention des défauts de détection potentiels. Il peut également être surveillé et ajusté à distance, permettant aux clients de maintenir la cohérence du processus. Le système avancé de protection du procédé assure une protection optimale du dispositif lors de l'amélioration du plasma en s'assurant que les conditions du plasma sont optimisées pour minimiser les dommages aux zones voisines. Au total, 2300 V2 est un graveur/asher avancé conçu pour fournir aux clients des capacités de traitement puissantes et fiables, leur permettant de gérer un large éventail d'applications de gravure et de gravure/ashing en toute confiance.
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