Occasion LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45 #9282805 à vendre en France

LAM RESEARCH Kiyo est un graveur/asher diélectrique à haut débit de pointe conçu et fabriqué par LAM RESEARCH. Il supporte à la fois les procédés traditionnels de gravure humide et de cendrage sec pour le nettoyage et la préparation des plaquettes avant leur traitement ultérieur. Kiyo est un excellent outil de gravure/cendrage diélectrique de haute précision grâce à son design innovant, avec une capacité de processus à deux étapes et un mandrin rotatif pour une meilleure uniformité. Il est capable de graver une variété de matériaux diélectriques tels que des films de nitrure et d'oxyde, ainsi que des empilements de grille métalliques de haut k. RECHERCHE LAM Kiyo est disponible dans une configuration de manutention simple de plaquettes ou de gousses, avec une taille de chambre maximale de 331 mm et une température maximale de bakeplate de 500 ° C Kiyo est équipé d'un contrôleur intégré puissant, permettant un temps de chargement rapide des plaquettes et un contrôle précis des processus. La boîte de travail est livrée avec un système propriétaire de contrôle de substrat virtuel (VSC) qui assure des substrats hautement reproductibles. Le contrôleur donne également accès à des données de wafer en temps réel telles que la température et le débit de gaz pour un meilleur contrôle du processus. LAM RESEARCH Kiyo a été conçu pour un entretien et un service faciles et sûrs. La chambre est équipée de ports à double pression, ce qui permet un cycle de processus plus rapide que les chambres à simple port. La capacité de nettoyage automatisé est également disponible grâce au logiciel intégré LAM Clean Chamber, qui minimise les temps d'arrêt de maintenance. En outre, Kiyo offre de nombreuses fonctionnalités avancées telles que le contrôle de température de haute précision, la capacité multi-gaz, et de faibles performances de particules. LAM RESEARCH Kiyo est un outil fiable pour la préparation précise des plaquettes, permettant la production de diélectriques de qualité constante. Il offre des répliques de qualité supérieure avec une variation de rendement réduite et une robustesse maximale.