Occasion LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45 #9363127 à vendre en France

LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45 est un graveur/asher haute performance qui est utilisé pour le développement de processus ainsi que la fabrication IC. Ce graveur/asher fournit des capacités de processus avancées pour répondre aux exigences exigeantes de la production d'appareils. C'est un outil polyvalent qui peut être utilisé pour une variété de processus de gravure et d'ashing. Il est conçu pour supporter une variété de technologies de gravure telles que la gravure métallique, la gravure diélectrique, la décomposition thermique, la gravure par contact avec des halogènes, la gravure par contact avec des gaz et la gravure par contact avec des réactifs mixtes halogènes et phase gazeuse. Il prend également en charge les processus de cendrage tels que le RIE profond et les traitements plasmatiques. Cette polyvalence permet aux utilisateurs de soutenir leur processus particulier de développement ou de production avec le moins de re-configuration du système. Le Versys Kiyo 45 offre aux utilisateurs une répétabilité précise des processus, une « cartographie cinématographique » avec des recettes de processus pouvant atteindre 50 étapes et jusqu'à 256 × 256 tableaux, et des mesures OPC (Optical Critical Dimension) en temps réel permettant aux utilisateurs de revoir leur qualité de processus sur place et à la demande avec la chambre d'inspection de l'outil intégré. Cette chambre d'inspection a un champ de vision allant jusqu'à 40 × 30mm et peut être utilisée pour analyser les caractéristiques physiques des plaquettes ou des pièces. LAM RESEARCH 2300 VERSYS KIYO45 utilise un ensemble de pompes qui peut être entraîné de 0 à 45 l/min pour des niveaux supérieurs de contrôle de pression. En même temps, le Versys Kiyo 45 est un outil entièrement automatique capable de fonctionner dans les cycles auto-opt et auto-clean et utilise une grande variété de gaz et de produits chimiques pour soutenir les processus de gravure et de nettoyage. Le Versys Kiyo 45 offre également aux utilisateurs une filtration facultative pour réduire les risques d'introduction de particules dans le système gravure/cendres. Ce système offre également des fonctionnalités propres avec des processus en phase liquide ou gazeuse. Au total, 2300 Versys Kiyo 45 est un graveur/asher avancé et hautement capable. Il offre aux utilisateurs des niveaux supérieurs de répétabilité, une surveillance des processus sur demande avec inspection intégrée des outils, et des processus optionnels de filtration et de CIP. Le Versys Kiyo 45 est un choix idéal pour les utilisateurs de soutenir leurs opérations de fabrication d'IC de haute précision.