Occasion LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo Poly #293758913 à vendre en France

LAM RESEARCH 2300 Versys KIYO Poly est un asher et un graveur utilisé pour des applications en couches minces. Il s'agit d'un équipement de gravure à sec de pointe conçu pour la gravure en profondeur des métaux et du silicium polycristallin. Le système dispose de deux procédés (transparents ou auto-limitatifs) qui peuvent être utilisés pour diverses techniques de gravure. Le Versys KIYO Poly dispose de deux sources de plasma indépendantes qui peuvent être utilisées indépendamment pour la gravure du métal et du silicium polycristallin avec un contrôle précis sur les deux étapes du processus. Les sources de plasma permettent un contrôle de gravure de grande précision et sans interférence de l'autre source de plasma. L'unité offre également une flexibilité de procédé qui peut être utilisé pour la gravure haute intégrité d'une variété d'alliages métalliques (aluminium, titane, tungstène, et d'autres), et de matériaux en silicium polycristallin, y compris des films de cuivre aussi minces que 0,3 microns. Le Versys KIYO Poly offre un contrôle de processus de haute précision avec un contrôle prédictif de la vitesse de gravure, une coupure de température pour des performances de processus uniformes et un contrôle de processus avancé (APC). Il offre également une série d'options de processus polyvalentes pour la gravure du métal et du silicium polycristallin, y compris des paramètres pour le dopage du bore, la gravure des tranchées, la gravure verticale et la gravure en profondeur. La machine est capable d'obtenir une précision de dimension critique de +/- 1,0 micron et une uniformité dans la résolution des fonctions submicroniques. Il offre un outil de surveillance à distance facile à utiliser avec des réglages en temps réel possibles grâce aux contrôles d'actifs. Le modèle est équipé d'une chambre haute température à vide (HTHV) qui fournit une vitesse de gravure uniforme pour différentes épaisseurs de film et assure la stabilité du processus. Il dispose également d'un équipement de source bi-RF précis pour le contrôle final du processus de gravure et d'un système d'émission d'électrodes entièrement automatisé. Le Versys KIYO Poly est une unité de gravure polyvalente capable de réaliser la gravure en une seule étape de plusieurs appareils dans une seule chambre, ce qui le rend idéal pour les applications prototypes et de production.