Occasion LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo Poly #293762655 à vendre en France

LAM RESEARCH 2300 Versys KIYO Poly est un équipement de gravure conçu pour la gravure de silicium polycristallin et les matériaux diélectriques en verre. Cet etcher avancé dispose d'une plate-forme à haut débit entièrement automatisée qui est capable de produire des profils de fixation haute résolution avec une répétabilité de précision et une uniformité sur toute la gamme de taille du substrat. Les capacités de modélisation haute résolution du Versys KIYO Poly le rendent idéal pour des applications telles que les photomasques, les diélectriques de portes et la fabrication d'appareils électroniques. Le système Versys KIYO Poly utilise un procédé de gravure à base de plasma qui produit des caractéristiques murales verticales de haute précision, une géométrie droite et des arêtes vives avec une sous-coupe minimale. Il dispose d'une large gamme de processus conviviale avec flexibilité pour différentes tailles de motifs, largeurs de lignes et rapports d'aspect. Il est hautement configurable avec des options de surpression, d'automatisation de processus et de contrôle de débit. L'etcher offre également une surveillance intégrée avancée des processus pour garantir une qualité de gravure optimale. Cela inclut des recettes auto-séquencées avec ajustement automatisé des paramètres de processus basé sur les résultats de gravure en temps réel. Il offre également un contrôle avancé de la température, une mesure de la profondeur et des capacités de détection du point d'extrémité qui permettent une gravure précise des films de silicium polycristallin. Le Versys KIYO Poly est conçu pour fonctionner avec une grande fiabilité et un faible entretien. Il utilise des systèmes de distribution de gaz cryogénique et comprend des réacteurs auto-programmés qui réduisent le besoin de réinitialisation fréquente. L'unité est également équipée d'une pompe sèche sous-ambiante intégrée qui offre un fonctionnement silencieux et peu poussiéreux. La machine Versys KIYO Poly est conçue pour offrir des performances de gravure supérieures et est particulièrement bien adaptée pour la gravure en silicium polycristallin haute précision et haute résolution. Avec sa conception entièrement automatisée et conviviale, cet outil est idéal pour les applications nécessitant une grande précision, un débit rapide et une maintenance réduite.