Occasion LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo Poly #9257976 à vendre en France

LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo Poly est un graveur/asher industriel utilisé pour graver et/ou asher substrats dans les procédés de fabrication de puces semi-conductrices. La gravure et le cendrage sont terminés en ligne, ne nécessitant qu'une seule machine au lieu de deux graveurs et cendres distincts et autonomes. Cet outil utilise une plaque de refroidissement Poly- Cool™ pour la cartographie précise des températures des plaquettes, ce qui contribue à assurer un refroidissement uniforme des plaquettes gravées et cendrées. Chaque lot de plaquettes peut être traité avec précision avec 2300 Versys Kiyo Poly. Il peut accueillir jusqu'à 300 plaquettes, ce qui permet une production de volume élevé et une cohérence de lot à lot efficace. L'outil est intégré avec Poly- Controller™ Programmable Logic Controllers et Programmable Automation Controllers, qui permettent un contrôle précis des paramètres de gravure et d'ashing. Les utilisateurs peuvent configurer et stocker différentes recettes de processus pour différents matériaux ou épaisseurs de plaquettes. LA RECHERCHE DE LAM 2 300 Versys Kiyo Poly est muni avec P3™ la technologie de Dressant le portrait de Pression Avancée, qui est installée dans le plasma - grave la chambre à l'eau forte. Cette technologie réduit la complexité des profils de pression pour un meilleur contrôle des processus lors de la gravure. Il dispose d'une variété de gaz de gravure et d'ashing tels que Fluor, Oxygène, Cl2 et Ar, et permet un contrôle automatisé du débit massique des gaz. L'option de source de plasma à distance réduit la production de particules, éliminant la source potentielle de variation pendant le processus de CMP. La machine dispose de configurations automatiques de gaz, ce qui permet aux utilisateurs de configurer le système, de stocker plusieurs configurations de gaz et de modifier la configuration de gaz à distance. Cela aide à réduire les déchets associés à la configuration manuelle, et les utilisateurs peuvent facilement basculer entre les recettes sans temps de configuration supplémentaire. 2300 Versys Kiyo Poly dispose également de portes d'ouverture supérieure pour le chargement et le déchargement facile des tasses de cassettes, ce qui le rend beaucoup plus facile à manipuler les plaquettes. Il est également compatible avec les filtres Teflon™, ce qui contribue à réduire la contamination par le carbone et d'autres contaminants, garantissant un produit de haute qualité.