Occasion LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo #9152530 à vendre en France
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ID: 9152530
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2009
Metal etcher, 12"
Loadport: SMIF (EFEM)
Metal core tool
Process chamber:
(2) Metal etchers
(2) MWAVE Strips
SMIF:
Signal tower: (3) Colors
(3) Load ports, 799-901175-004
ATM Robot, P/N: 151864
Buffer station: (25) Slots
Aligner
Transfer chamber:
Load lock: (2) LL / (4) Slot cool chambers
Model of transfer robot: Megatran7 / Brooks
Parts no. of rocker valve: (4) 853-007859-9223
TM Pressure gauge: HPS Series 907 / MKS
TM Pressure control: MKS Series 640
LL Pressure gauge: Hasting
Etch chamber:
PM2 & PM3:
pressure gauge: MKS, 0.1 Torr
Throttle gate valve: 65048-PH52-ADR1 / VAT
Turbo pump: ATH2300M / Alcatel
TCP RF generator: APEX2013 / AE
Bias RF generator: APEX1513 / AE
MW Chamber:
PM1 & PM4:
Model of chamber: 2300 MWAVE STRPR
Throttle gate valve: 65048-PH52-ADR1 / VAT
MW Generator: Revolution, 7690LAM-23
Configuration of MFC:
Ar 2SLM
O2 5SLM
N2 1SLM
Gas panel, etch chamber:
PM2:
Type of gas panel: 16-Line IGS gas box
Type: Block
16-Gas channels
MFC: SFC2480FAAPD2
Configuration of gas:
O2 20 SCCM
NF3 150/500 SCCM
CF4 60/200 SCCM
SF6 60/200 SCCM
HBr 30/100 SCCM
CH2F2 6/20 SCCM
SiCl4 20 SCCM
SiCl4 60/200 SCCM
CHF3 30/100 SCCM
Ar 150/500 SCCM
N2 60/200 SCCM
Cl2 15/50 SCCM
O2 150/500 SCCM
BCl3 50/200 SCCM
CF4 15/50 SCCM
Cl2 150/500 SCCM
PM3:
Type of gas panel: 16-Line IGS gas box
Type: Block
16-Gas channels
Model of MFC: SFC2480FAAPD2
Configuration of gas:
O2 20 SCCM
NF3 150/500 SCCM
CF4 60/200 SCCM
SF6 60/200 SCCM
HBr 30/100 SCCM
CH2F2 6/20 SCCM
SiCl4 20 SCCM
SiCl4 60/200 SCCM
CHF3 30/100 SCCM
Ar 150/500 SCCM
N2 60/200 SCCM
Cl2 15/50 SCCM
O2 150/500 SCCM
BCl3 50/200 SCCM
CF4 15/50 SCCM
Cl2 150/500 SCCM
Power: 208 VAC, 3 phase, 4 wires, 400 A, 50 / 60 Hz
2009 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo est un équipement de graveur/asher haute performance conçu pour des applications avancées. Il offre un contrôle avancé de la température, une surveillance précise de la pression et une flexibilité de procédé améliorée. Le Versys Kiyo peut graver et asher une grande variété de substrats et de matériaux, y compris les matériaux inorganiques et organiques. Il dispose de modes plasmatiques ionisés et non ionisés pour une flexibilité maximale du procédé. Le système est équipé d'un module de traitement d'image numérique propriétaire qui définit rapidement et avec précision les paramètres souhaités et fournit des résultats de processus cohérents. En termes de conception de chambre, 2300 Versys Kiyo a une chambre de réacteur cylindrique avec un diamètre hors tout de 24 pouces. L'électrode intérieure mobile est en graphite et fournit une excellente uniformité et un contrôle précis de la température à l'ensemble de la chambre. Il y a aussi un soufflet monté sur tube qui aide à maintenir une pression de gaz constante dans la chambre et assure une uniformité fiable des plaquettes. Cette unité est également équipée d'une pompe Cryo, qui permet à la chambre d'atteindre un niveau de vide de 10-6 torr. En outre, le Versys Kiyo est la dernière génération d'équipement LAM RESEARCH pour offrir un outillage à obturateur rapide. Cette technologie d'outillage avancée permet à l'utilisateur d'obturer rapidement la chambre, même lorsque les conditions de processus sont moins optimales. L'obturateur rapide réduit également considérablement les temps d'arrêt, tout en maintenant des résultats de processus cohérents. LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo est une machine complète conçue pour fournir des performances flexibles, fiables et prévisibles. Avec sa combinaison d'un contrôle précis de la température et d'une surveillance fiable de la pression, les utilisateurs peuvent s'attendre à des résultats de processus plus rapides et répétables. Il est livré avec la surveillance automatisée des fonctionnalités, la détection prédictive des erreurs, et une variété d'outils de support et de maintenance. Cet outil est également compatible avec diverses recettes de processus, permettant aux utilisateurs de sélectionner et modifier rapidement les recettes souhaitées. 2300 Versys Kiyo fournit un outil de gravure/cueillette sûr et répétable pour les applications haut de gamme.
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