Occasion LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo #9240730 à vendre en France
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ID: 9240730
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
Polysilicon etcher, 12"
Includes:
2300 Frame
(2) Exelan flex chambers
(2) Kiyo FX chambers
LAM RESEARCH Kiyo MCX Chamber
(3) LAM RESEARCH Kiyo chambers
2005 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo est un graveur/asher avancé qui est bien adapté pour une variété d'applications. Il combine la livraison et le contrôle de gaz haute performance, une conception mécanique robuste et des outils intuitifs d'interface utilisateur pour fournir une solution puissante pour les processus de gravure et d'ashing. Comme graveur, 2300 Versys Kiyo fournit des capacités de gravure de précision avec jusqu'à 50 recettes de gravure différentes. La machine permet également jusqu'à 300 positions de plaquettes pouvant contenir des plaquettes de 8 ou 12 pouces. Chaque recette de gravure est programmée avec des paramètres optimisés tels que la forme du substrat, l'ombrage et la profondeur de gravure. LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo est conçu pour être un outil de processus efficace pour les applications de gravure. La chambre de traitement a une capacité maximale de 6 litres et peut traiter jusqu'à 6 plaquettes à la fois. L'outil comprend également un équipement d'alignement en vue directe de la plaquette avec des capacités de focalisation automatique pour le recouvrement d'image pendant les réticules pour un temps de fabrication réduit. De plus, l'outil comprend un système de mélange de gaz qui fournit le contrôle précis des mélanges de gaz requis pour les processus de gravure avancés. Cette unité de mélange de gaz dispose d'une sélection et d'un contrôle entièrement automatique de la source de gaz afin que les utilisateurs puissent rapidement programmer et optimiser le processus. 2300 Versys Kiyo fournit également un certain nombre de fonctions de sécurité pour assurer un fonctionnement sûr. L'outil est équipé d'une machine à vide à deux étages avec à la fois une pompe turbo-moléculaire et une pompe secondaire ion-getter. Ceci assure que la chambre reste à un niveau de vide sûr pendant le fonctionnement. La machine dispose également d'un outil d'alarme à l'oxygène qui alertera l'opérateur s'il y a une accumulation dangereuse d'oxygène dans la chambre. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo est un graveur/asher fiable et puissant qui fournit des résultats précis pour une variété d'applications de gravure. Son interface conviviale, ses fonctions avancées de contrôle des gaz et de sécurité en font une solution idéale pour les processus de gravure et de cueillette au niveau de la production. Avec sa conception mécanique robuste et son atout précis pour la livraison de gaz, 2300 Versys Kiyo est une solution fiable et efficace pour la gravure et la cueillette de divers substrats.
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