Occasion LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo #9301851 à vendre en France
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ID: 9301851
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2016
Etcher, 12"
Seismic brackets system
SEMI Wafer
Cassette type: 25-Slots
Gas system type: IGS Gas box
Mylar floor template
Manuals electronic CD-ROM
Positions:
Position 1: 2300 Microwave strip
Position 2 and 3: 2300 Versys Kiyo
Non-standard systems:
NSR300156 Kiyo
NSR301982 RMV Kiyo PM Position-4
Process modules:
(2) Quick clean kits for 2300 Versys Kiyo
(1) Quick clean kit for 2300 MW Strip
Options:
Standard chamber pinnacle (-814)
Tunable ESC Wafer clamping mechanism
Standard fingers RF Ground bracket (-006)
Quartz edge ring
Standard Quartz tunable injector
Standard injector shield
Standard plasma screen (-032)
Gas weldment: Enhanced passivated (-110)
Standard ESC Hose kit
Compression ESC Facility plate
Liner: ACME Coated universal (-838)
Standard chamber manometer
Wafer lift mechanism: Direct drive
Voltage control interface: 800 V
O-rings: Chemraz
Standard TCP Coil
TCP Source dual: 1500 W
300MM Turbo pump: 2200 L/S BOCE (Seiko Seiki)
Heated foreline
Endpoint detection: 2300 LSR with OES 2
Standard chamber viewport window
Chamber isolation valve: Barrier seal door
Viton vacuum valve
Lower isolation valve: Chemraz dry (-006)
Water control passive:
RF PCW Control
Pump to TCU: 25ft
TCU to PM: 50ft
PM to Pump interconnect: 50ft
TCU to RPDB: 25ft
Pump to RPDB: 25ft
Microwave strip options:
O-rings: Fluorosilicon / TEV
Microwave source: Quartz
Baffle: Quartz
Leak check port
Chamber isolation valve: Barrier seal door
Throttle valve (-003)
2-Line on-board gas delivery
PM to Pump interconnect: 50ft
Pump to RPDB: 25ft
Gas box:
Standard gas containment
Top exhaust gas system
Gas box:
Advanced chamber condition control
MFC Type: STEC SEC-Z313
No display in transducer
(16) Gas lines
Heated gas lines: Position 1 and 2
Gas box inlet option: Regulated inlet gas panel
Standard gas filter
Non-standard PM/GB Feature:
(2) FUJIKIN NSR 301983 MFC on PM4 IGSGB <PM4>
Line6 : FUJIKIN FCST1005NZFC_4J2, SO2 at 200sccm
Line16 : FUJIKIN FCST1005NZFC_4J2, Ar at 500sccm
2300 Platform
Standard front fascia
Front end load port cassette: (3) FOUPs
Cassette ID: Keyence BCR Carrier ID
Factory automation: OHT PIO Sensor
Airlock wafer fingers: Stainless wafer pads
EPX Backing pumps for TM
Control rack configuration:
Side monitor user interface
Earth Leakage Breaker (ELB)
RPDB
Interconnect cables: TM to RPDB, 50ft
Signal tower
System options:
System calibration and alignment
Service step for PM
Robot CDM
Non-Standard TM Feature:
NSR6975 Facility IF board kit and SW Key
NSR101080 Vespel endeffector on V2 TM
Gas box configuration:
PM2:
Line / MFC Type / Gas type / Gas Flow
Line 01 / SZ313 / SICL4 / 50
Line 03 / SZ313 / NF3 / 500
Line 04 / SZ313 / CL2 / 200
Line 05 / SZ313 / HBr / 500
Line 06 / SZ313 / SO2 / 200
Line 07 / SZ313 / CH2F2 / 200
Line 09 / SZ313 / O2 / 10
Line 10 / SZ313 / SF6 / 50
Line 11 / SZ313 / O2 / 500
Line 12 / SZ313 / N2 / 100
Line 13 / SZ313 / CF4 / 200
Line 14 / SZ313 / CHF3 / 300
Line 15 / SZ313 / He / 500
Line 16 / SZ313 / Ar / 500
PM3:
Line / MFC Type / Gas type / Gas Flow
Line 01 / SZ313 / SICL4 / 50
Line 03 / SZ313 / NF3 / 500
Line 04 / SZ313 / CL2 / 200
Line 05 / SZ313 / HBr / 500
Line 06 / SZ313 / SO2 / 200
Line 07 / SZ313 / CH2F2 / 200
Line 09 / SZ313 / O2 / 10
Line 10 / SZ313 / SF6 / 50
Line 11 / SZ313 / O2 / 500
Line 12 / SZ313 / N2 / 100
Line 13 / SZ313 / CF4 / 200
Line 14 / SZ313 / CHF3 / 300
Line 15 / SZ313 / He / 500
Line 16 / SZ313 / Ar / 500
PM4:
Line / MFC Type / Gas type / Gas flow
Line 01 / SZ313 / SICL4 / 50
Line 03 / SZ313 / NF3 / 500
Line 04 / SZ313 / CL2 / 200
Line 05 / SZ313 / HBr / 500
Line 06 / SZ313 / SO2 / 200
Line 07 / SZ313 / CH2F2 / 200
Line 09 / SZ313 / O2 / 10
Line 10 / SZ313 / SF6 / 50
Line 11 / SZ313 / O2 / 500
Line 12 / SZ313 / N2 / 100
Line 13 / SZ313 / CF4 / 200
Line 14 / SZ313 / CHF3 / 300
Line 15 / SZ313 / He / 500
Line 16 / SZ313 / Ar / 500
2016 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo est un équipement de gravure polyvalent et efficace conçu spécifiquement pour des applications telles que le dépôt de films minces monocristallins en silicium, la photolithographie avancée et la réparation des rayures de surface. Ce système est un graveur/asher haut de gamme équipé de technologies de pointe telles que la gravure par plasma, le dépôt d'oxyde sec, la gravure et le dépôt de résistance. 2300 Versys Kiyo dispose d'une fréquence d'entrée plasma 20kHz, ainsi que d'une large gamme de gaz de procédé pour des processus de gravure fiables. C'est une machine entièrement automatique qui prend soin de tout le processus, du chargement de la plaquette au déchargement des résultats. Pour garantir des résultats précis et reproductibles, le graveur dispose d'une unité de manutention automatique des plaquettes et d'une chambre à vide intégrée. LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo dispose également de la dernière imagerie in situ et du contrôle avancé des processus, permettant à l'utilisateur de surveiller le processus et d'effectuer des changements rapides à la volée. Pour garantir des résultats cohérents et de haute précision, la machine est équipée d'un positionneur en lacet à 6 axes et 2 axes. Il offre également une source d'ions en chambre optionnelle pour la gravure à l'aide de procédés atmosphériques contrôlés. Avec ses caractéristiques avancées et sa construction durable et fiable, le 2300 Versys Kiyo est un excellent choix pour une large gamme d'applications de gravure et d'ashing exigeantes. L'outil est certifié selon des normes de sécurité strictes et est équipé d'un atout de sécurité qui fournit une couche supplémentaire de protection pendant le processus de gravure. De plus, grâce à son haut rendement et à son retournement rapide, LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo est idéal pour un prototypage rapide et un développement rapide dans la conception de produits.
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