Occasion LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo #9353167 à vendre en France

LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo
ID: 9353167
Etcher.
LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo est l'un des graveurs et cendres les plus avancés disponibles aujourd'hui. Cet outil est conçu pour fournir des gravures et des cendres de précision dans une grande variété d'applications à travers les environnements de production de semi-conducteurs, MEMS et LED. Cet équipement est capable de traiter des plaquettes à plat et à contour, avec une précision, une vitesse et une répétabilité inégalées. Ce système est capable de traiter des plaquettes jusqu'à 200mm de diamètre, et offre de nombreux paramètres de processus différents qui sont réglables en fonction des exigences de l'opérateur. Le Kiyo est disponible à la fois avec un faible débit et une version à haut débit pour plus de flexibilité. La version à faible débit a un débit de 2-5 litres par minute, tandis que la version à haut débit a un débit de 7-10 litres par minute. La chambre de procédé Versys Kiyo est conçue avec des caractéristiques de sécurité et offre une excellente uniformité plasma, permettant des tolérances de gravure plus serrées et une meilleure précision de bord. Avec une pression maximale de 200 Millibar (Mbar) et une plage de température de 15 à 40 ° C, le Versys Kiyo peut gérer une grande variété de processus de gravure et de cendres, et dispose d'options pour le contrôle manuel des processus, ainsi que des capacités intégrées de contrôle des processus. L'unité est également équipée de nombreuses caractéristiques de sécurité, y compris un arrêt automatique de gaz, une machine d'évacuation d'urgence, et un bouton d'arrêt d'urgence situé à l'avant de la machine. Ces caractéristiques garantissent la sécurité de l'opérateur en tout temps pendant les processus de gravure et de cueillette. En outre, le Versys Kiyo est livré avec un écran tactile LCD (Liquid Crystal Display) qui permet un accès facile aux paramètres, peut surveiller le cycle de processus en cours, ainsi que récupérer et analyser des données pour améliorer le processus. Cet outil est également équipé d'une capacité « Soft Vac », qui permet des processus de gravure et de cueillette plus précis, efficaces et sécuritaires. Au total, 2300 Versys Kiyo est un outil idéal pour la gravure et l'ashing de précision dans les environnements de production de semi-conducteurs, MEMS et LED les plus exigeants. La combinaison de l'uniformité plasma avancée de l'actif, de nombreuses caractéristiques de sécurité et des capacités fiables de contrôle des processus en font une solution de gravure et d'ashing supérieure.
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