Occasion LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo #9359216 à vendre en France
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Vendu
ID: 9359216
Taille de la plaquette: 12"
Etcher, 12"
(3) Process chambers
V2 Platform
Transfer chamber:
BROOKS AUTOMATION Transfer robot
Transfer robot ARM
(6) Rocker valves
TM Pressure gauge
MKS 640 TM Pressure control
Loadlock pressure gauge (Hasting gauge)
VAT Slit door
TM Super slot board
Airlock cover
DA Sensor
Etch chambers PM2/PM3:
2300 Kiyo, 2005 vintage
Pressure gauges:
E28B-30584
(2) 625A-14059
65048-JH52 Pendulum valve
ATH2300M Turbo pump
Apex 1513 TCP RF Generator, P/N: 660-032596-013
Apex 1513 Bias RF Generator, P/N: 660-032596-014
RF Matches:
TCP, P/N: 832-034908-009
Bias, P/N: 832-038915-001
ESC, P/N: 839-019090-328
Missing process kits:
Top edge ring
Bottom edge ring
Wall liner
649A-14943 Back He UPS
ESC Power supply
VME Assembly
Foreline assembly
OES
Luxtron
Etch chamber PM4:
2300 Kiyo Chamber
Pressure gauges:
E28B-30584
(2) 625A-14059
65048-JH52 Pendulum valve
ATH 2300M Turbo pump
Apex 1513 TCP RF Generator, P/N: 660-032596-013
Apex 1513 Bias RF Generator, P/N: 660-032596-014
RF Matches:
TCP, P/N: 832-034908-009
Bias, P/N: 832-038915-001
ESC, P/N: 839-019090-328
Missing process kits:
Top edge ring
Bottom edge ring
Quartz injector
Wall liner
649A-14943 Back He UPS
ESC Power supply
VME Assembly
Foreline assembly
OES
Luxtron
(3) Gas panels:
PM2:
IGS Gas panel
12-Stick gas channels
SEC-Z300 Mass Flow Controllers (MFC)
PM3/PM4:
IGS Gas panel
16-Stick gas channels
SEC-Z300 Mass Flow Controllers (MFC)
Gases for PM2/PM3/PM4:
Gases / Size
CL2 / 200 SCCM
HBR / 50 SCCM
CF4 / 200 SCCM
O2 / 20 SCCM
O2 / 200 SCCM
HE / 500 SCCM
SF6 / 200 SCCM
CH4 / 50 SCCM
HBR / 500 SCCM
CHF3 / 200 SCCM
N2 / 100 SCCM
AR / 500 SCCM
Delivery and pre-charge gas line
GIB Line and FIB cover
Gas box cover.
LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo etcher/asher est le dernier en date d'une gamme d'outils de pointe de gravure/cendres de LAM RESEARCH, un fournisseur leader d'équipements de procédés semi-conducteurs. Il est conçu pour être un équipement très efficace et à haut débit capable de reproduire des surfaces de contrôle dimensionnelles et de haute fidélité. Il est idéal pour une variété de procédés, y compris des applications avancées et multicouches de gravure/cendres. Le Versys Kiyo utilise la technologie RF avancée pour fournir les processus de gravure/cendres les plus précis. Son système de contrôle et de diagnostic ultramoderne offre des performances et une fiabilité supérieures qui donnent des rendements d'appareil supérieurs et permettent des débits de processus plus élevés. La technologie avancée de régulation de température de l'outil garantit également une grande précision et reproductibilité. Les capacités de manutention des plaquettes de la machine offrent également un avantage clé dans sa conception, car le Versys Kiyo est équipé d'un système de transfert de plaquettes performant et configurable et d'un chargeur de cassettes d'outils en grappes de 20 stations. Cela garantit un chargement et un déchargement rapides et fiables des plaquettes, une caractéristique importante pour tout outil de gravure/cendres. L'unité offre également une flexibilité avec ses capacités programmables en puissance et en fréquence, permettant de personnaliser les processus pour une gamme de types d'appareils, y compris les lignes fines, les lignes ultra-minces et d'autres géométries complexes. En outre, une gamme complète de fonctions de puissance RF de pointe, telles que la puissance pulsée, les rampes de puissance linéaires et les formes programmables de forme d'onde, sont disponibles pour étendre davantage la flexibilité du processus de gravure/cendres. Pour fournir le plus haut niveau de précision et de traçabilité de la machine, le Versys Kiyo etcher/asher comprend un ensemble intégré de métrologie et des techniques avancées d'imagerie de surface. Ces fonctionnalités sont conçues pour maximiser le contrôle et la reproductibilité des processus et fournir la plus grande précision et résolution d'imagerie possible pour les plaquettes. Enfin, le Versys Kiyo etcher/asher est conçu pour avoir des coûts d'exploitation faibles, ce qui contribue à maximiser les économies pour les fabricants d'appareils et les utilisateurs finaux. L'opération conviviale sophistiquée permet aux opérateurs de comprendre et d'utiliser rapidement les capacités de Versys Kiyo, contribuant ainsi à réduire le coût des ressources investies dans la configuration et la formation des opérateurs. Dans l'ensemble, 2300 Versys Kiyo etcher/asher offre une superbe combinaison de performances de gravure avancées, de débit de plaquettes élevé, de configurabilité et de faibles coûts d'exploitation. Cela en fait un outil idéal pour une variété de processus complexes de gravure/cendres.
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