Occasion LAM RESEARCH 2300 Versys #78825 à vendre en France
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Vendu
ID: 78825
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
Poly etch / microwave strip system, 12"
Install Type: Thru-the-wall (TTW)
CE Marked
Protocol: FEOL
System SW: 1.7.1-SP3-HF5
Mainframe Type: V2.0
Cassette Interface:
(3) Brooks 300mm FOUP Load-ports
Brooks Mag 7 Robot
User Interface: Side/Front
OES: Ocean Optics
Status Lamp (RYGB) Side/Front
PM3: 2300 Kiyo45 Poly Etch
TMP Pump: Edwards STP-XA2703CV
RF PS (Top): AE Apex 1513, 13.56MHz (1500W max)
RF PS (Btm): AE Apex 1513, 13.56MHz (1500W max)
Gas Box:
Unit 8561 MFCs
SICL4, CL2, SF6, CHF3, H2, NF3, HBR, HBR, CH2F2, CF4, O2, O2, N2, CHF3, Ar, He
PM4: 2300 Mwave Strip
Mwave PS: Astex AX2630LRC3-S
Mwave Match: MKS V0DMB-26565
Gas Box:
Unit 1661 MFCs
N2 (1000), O2 (5000), CF4 (100), H2O (3000)
Chiller (PM3): Noah 3500 POU, BTM: HT200, PSC-8800 Cntrl
Pumps: Not all Pumps may be present
Main AC Power Dist. Box (Wall/Unistrut mount)
Power Requirements: 208V, 272A, 3-PH, 3-wire+Gnd, 50/60Hz
Can be inspected
2005 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45 est une solution d'assemblage de gravure très avancée conçue pour répondre aux exigences de l'assemblage de gravure avancé. Ce produit facilite des niveaux de performance, de précision et de rendement plus élevés tout en réduisant les coûts. Ce graveur/asher utilise la technologie de gravure par plasma dirigé (DPE) leader de l'industrie pour fournir une excellente précision et uniformité de gravure, ainsi que l'assemblage de dispositifs haute densité. LAM RESEARCH 2300 VERSYS KIYO45 propose 42 chambres de process, chacune équipée de capacités DPE, permettant l'intégration de plus de 300 recettes de process. Chaque chambre est alimentée par des modules de dépôt, de gravure et de recuit et 12 spectromètres de masse à haute résolution. Chaque chambre a une fenêtre de 4 pouces par 5,2 pouces (200 mm) par 6,5 pouces (500 mm), offrant un excellent accès optique et une grande surface de plaquette. La chambre a une qualité optique supérieure, permettant une précision de recouvrement supérieure, et la basse pression de fond de chambre, combinée avec le débit d'alimentation élevé, rend le processus de gravure meilleure qualité. 2300 Versys Kiyo 45 est conçu pour optimiser le débit et peut traiter jusqu'à 450 plaquettes par heure. Il peut fournir des profils de gravure reproductibles pour la fabrication de gros lots, et a un haut degré de flexibilité de la recette de processus avec sa technologie DPE, permettant une intégration de processus plus efficace. 2300 VERSYS KIYO45 est conçu pour être utilisé dans des environnements de production et peut être utilisé de manière sûre et sécurisée. Son système intégré de contrôle des processus, ses sous-structures à LED, ses alimentateurs automatiques de plaquettes et de cassettes et ses processus sécurisés permettent d'assurer un rendement maximal des plaquettes tout en minimisant le temps de maintenance. Le système est également flexible pour tenir compte de l'évolution des exigences de production. LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45 est idéal pour la fabrication et l'emballage de puces, offrant une précision et des rendements supérieurs, ainsi qu'une haute qualité et répétabilité. Ce système avancé offre une excellente solution pour graver et assembler des dispositifs complexes tout en réduisant le coût global de production.
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