Occasion LAM RESEARCH 2300 Versys #9033337 à vendre en France
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Vendu
ID: 9033337
Style Vintage: 2004
Etch / Ash / Clean plasma processing system, 6"
Domino System
2300 Proces Module:
(4) Versys silicon 2300 options
(4) Chemraz O-rings
(4) 2200 L/S Seiko turbo pump
(4) Heated foreline
(2) Versys silicon quick clean kit
(1) Versys silicon pend. valve kit
2300 Gas Box:
(4) Versys silicon 2300 gas boxes
(48) Regulated inlets (per gas line)
(4) 12-gas configurations
2300 Platform:
(1) 3 Open Cassette
(1) WIDS Top Read
(1) Conditioning Station
(1) User Interface: Side and Front Monitor
(1) System UPS Circuitry
(1) Earth Leakage Breaker
(1) Cable: TM-Subpanel, 50FT
Rev 3 tunable ESC in all chamber
2004 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Versys est un équipement de gravure/ashing avancé utilisé pour créer des dispositifs de circuits intégrés. Il combine les technologies de convection, thermique et plasma pour permettre aux utilisateurs d'obtenir des performances supérieures dans les processus asher, ce qui entraîne des temps de cycle plus courts, une productivité plus élevée et une fenêtre de processus améliorée. Cet outil est actuellement utilisé dans certaines des principales installations de fabrication de circuits intégrés (IC) au monde. La conception robuste de Versys comprend une chambre unique et un système de refroidissement de plate-forme, offrant un équilibre de température supérieur et une stabilité de gravure/cueillette supérieure. Il est doté d'une unité de transfert monopropulseur, qui permet une réponse rapide et flexible, ainsi que d'un dispositif de chargement automatique avancé qui garantit un processus fiable. Le Versys est capable de traiter plusieurs tailles de substrat et offre une grande variété de solutions de gravure/cendres, allant de DRIE, CVD amélioré par plasma (PECVD), pulvérisateur, et Etch-Then-Clean (ETC) processus. En outre, sa technologie de traitement thermique intégré (ITP) minimise les dommages au substrat et le temps de cycle de gravure, et son ITP « sans contact » permet le maintien de la température dans la chambre de traitement. La machine comprend également un épurateur cyclonique à deux étages, éliminant le besoin de sous-systèmes supplémentaires et assurant un contrôle optimal des processus. De plus, le Versys dispose de bateaux à un et à deux niveaux, ce qui lui permet d'accueillir des substrats petits et grands dans les mêmes tailles de substrat. 2300 Versys est un excellent choix pour les utilisateurs à la recherche de solutions de gravure/ashing haute performance. Avec sa technologie de pointe, sa conception robuste, et une large gamme d'options de processus, il est fortement recommandé pour la fabrication de circuits intégrés. Ses capacités avancées de gravure et de traitement des cendres, un bilan thermique supérieur et une manipulation précise de la taille du substrat en font l'un des systèmes de gravure/cendrage les plus efficaces et les plus fiables disponibles sur le marché aujourd'hui.
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